Edwards EPX 180LE 高真空一次ドライ真空ポンプ 400 VAC 3PH。 3/8 インチの水コネクタ ISO 63 インレット。部品番号 A41943714 - MCM TIM 付き

ツール インターフェイス モジュール (TIM) を備えた新しいコンパクトな EPX180LE 高真空ドライポンプは、所有コストを削減しながら性能を向上させます。 EPX180LE は、特許で保護された独自の機構を使用し、大気から 7 x 10-5 Torr 未満の到達圧力までポンプを供給できます。これらは本当に素晴らしいポンプです。 Edwards EPX ポンプは、大気からターボ分子圧力範囲までポンプダウンでき、すべての入口圧力で連続運転できます。受賞歴を誇る IPX シリーズに基づいたモジュラー EPX180 は、IPX よりも 20% 軽量、30% 小型、必要な電力が 40% 少ないパッケージで優れたパフォーマンスを提供します。 EPX LE シリーズのポンプにはエンド ユーザー コントローラー (EUC) が搭載されています。エンド ユーザー コントローラーを使用すると、スタンドアロンで使用するためのローカル制御が可能になるだけでなく、工場全体のネットワークに接続してリモート制御や監視を行うこともできます。 EPX ポンプ システムは、ポンプ チャンバー内に潤滑剤やシール剤を使用せずに、大気圧と到達真空の間の圧力で動作します。これにより、排気中のシステムへのオイルや流体の逆移動がなく、クリーンなポンプ システムが確保されます。 EPX 180LE は、生産終了した EPX 180NE モデル (部品番号 A41944712) および生産終了した部品番号 A41944714 の優れた代替オプションです。

ポンプのステーターと密閉型モーターは、統合された水冷回路によって冷却されます。したがって、EPX ポンプは、ファンによる冷却が許容できないクリーンルーム環境での用途に適しています。冷却水の供給パイプラインと戻りパイプラインは、水コネクタ (顧客指定) によってポンプに接続されます。冷却水は、露点に達しないように環境条件 (湿度と温度) に適合する必要があります。ポンプには、EMC 供給フィルタとインバータ ドライブが組み込まれており、ポンプ モータへの電力供給と制御を行います。前面カバーの LED は EPX ポンプのステータスを識別します。モーターの速度はポンプ入口の圧力によって異なります。大気圧または大気圧に近い入口圧力でポンプが始動すると、モーターはインバーター駆動によって供給できる電流によって制限される速度まで加速します。入口の圧力が低下すると、モーターの速度が増加し、最終的には事前に設定された最大速度に達します。入口の圧力が上昇すると、モーターは再び減速します。

EPX LE シリーズのポンプは、エンド ユーザー コントロール (EUC) のローカル ディスプレイとキーパッドを使用して手動で操作することも、ポンプ ディスプレイ ターミナル (PDT) (取り付けられている場合) を使用してリモートで操作することもできます。また、ネットワーク コネクタを介して EPX ポンプに接続するネットワーク経由で制御および監視することもできます。 EPX LE シリーズのポンプがツール インターフェイス モジュール (TIM) 経由で制御されている場合、EUC はポンプのステータスを監視するだけです。 EPX ポンプは Fabworks 32 と互換性があります。EPX には 4 つの防振装置が付いています。ポンプ保護センサーは、障害状態が発生した場合にポンプを自動的に停止します。 EPX シリーズは、ウェーハハンドリングから中負荷プロセスまで幅広いアプリケーションをカバーします。 EPX「LE」シリーズは、ロードロックなどの不活性ガス混合物をポンピングするクリーンデューティアプリケーションで使用するために設計されており、プロセスツールインターフェイスによって制御が提供されます。横にある取扱説明書をダウンロードしてください。