Edwards iXH 610 HARSH ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。
エドワーズ部品番号 AC110A121100。 Edwards iXH 610 は、グリーン製造および過酷な化学プロセスの処理のために構築された新しいシリーズのドライ ポンプです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツメカニズムは、入力電力を前世代のドライポンプより 60% 低い 1.3 kW に劇的に削減するために開発され、環境への影響を軽減し、所有コストを削減します。ガスバリア技術と熱設計の改良により、iHシリーズ製品と比較して4倍の耐食性を実現しました。高度な粉末処理機能により、iXH は多層エッチング プロセスで最大の信頼性とポンプ寿命の延長を実現し、特に HARSH Chemicals を使用した CVD プロセスで消費電力を削減します。
Edwards iXH 610 シリーズ ポンプはコンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を備えているため、iXH は Edwards シリーズの中で最も汎用性の高いケミカル ドライ ポンプとなっています。 iXH は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を変革し、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の向上を実現します。 iXH ポンプは、入力電力を大幅に削減しながら、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されています。完全な取扱説明書については、「ダウンロード」を参照してください。
機能と利点:- 主に過酷な化学薬品用途向け
- ピーク排気速度 665 m3/h-1 (391 CFM)
- 到達圧力 3.7 X 10-3 Torr
- 予防メンテナンスは不要です
- 3/8 インチのクイックコネクト注水器
- 水道および電源接続用嵌合ハーフ
- SS水冷システム
- マルチモード 44 SLM ガスモジュール
アプリケーション:- ロードロック
- 移行
- 気象学
- リソグラフィー
- 物理蒸着 PVD プロセス
- 物理蒸着 PVD プレクリーン
- 急速熱アニール RTA
- ストリップ/アッシング
- エッチング
- インプラントソース
- 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD
- 急速熱処理RTP
- 亜大気化学蒸着 SACVD
- タングステン化学蒸着 WCVD
- 改良型化学蒸着 MCVD
- プラズマ化学蒸着 PECVD
- 低圧化学蒸着 LPCVD