Edwards iXL120N ドライ真空ポンプ、200-460VAC、窒素パージ接続、カスタマイズされた、3/8 QC クイックディスコネクト給水継手が追加されました。エドワーズ部品番号: A54114010。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量が削減され、光熱費が削減され、環境の節約に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35 ℃の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120N の特徴と利点: オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期的なメンテナンス不要でスムーズで低振動の動作が保証されます。 独自のデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置オプションが可能になります。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラスをリードします。チャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます 最大 35°C の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50 V をカバーします/60 Hz 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に役立ちます

Edwards iXL120 E 200-460VAC ドライ真空ポンプ、3/8 QC 給水継手。コンパクト、小型、軽量。エドワーズ部品番号 A54113010。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35 ℃の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、顧客の最小限に抑えられます。所有コスト 単一のバリエーションで 200 ～ 460 V、50/60 Hz の供給電圧範囲をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に役立ちます

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC ドライ 1/4 QC 給水継手。コンパクト、小型、軽量。エドワーズ部品番号 A54113020。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 給水継手。コンパクト、小型、軽量。エドワーズ部品番号 A54113610。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 給水継手。コンパクト、小型、軽量。エドワーズ部品番号 A54113710。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC 給水継手、流量制御バルブ付き。エドワーズ部品番号 A54113011。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC 給水継手、流量制御バルブ付き。エドワーズ部品番号 A54113221。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 給水継手、流量制御バルブ付き。エドワーズ部品番号 A54113611。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35 ℃の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、顧客の最小限に抑えられます。所有コスト 単一のバリエーションで 200 ～ 460 V、50/60 Hz の供給電圧範囲をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に役立ちます

Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 給水継手、流量制御バルブ付き。エドワーズ部品番号 A54113711。 XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクト、低エネルギー、110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費でロード ロック チャンバーの高速ポンプダウンを実現します。 iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションに使用できるポンプの中で最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上または工場のワッフルフロア内に取り付けるのに最適であり、貴重な工場の床スペースの節約に役立ちます。グリーン モードにより、アイドル期間中の光熱費の使用量を削減できるため、光熱費が削減され、環境の保護に役立ちます。クラスをリードするチャンバーポンプのダウンタイムにより、総平均サイクルタイム (TACT) が短縮されます わずか 0.55kW の消費電力で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35℃ の給水により、施設の冷却水の要件が削減されます。非常に小型軽量で、貴重な製造スペースの節約に役立ちます オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアラインルーティングと位置オプションが可能になります ゼロ窒素パージオプションにより、窒素供給の必要性がなくなり、設置費用が節約されますEdwards iXL120 の特徴と利点: ゼロ窒素パージ オプションにより、窒素供給の必要がなく、設置コストと運用コストが節約されます。 オイル潤滑の高精度ベアリングにより、定期メンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 ユニークなデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと位置決めが可能になります。オプションのグリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 クラス最高のチャンバー ポンプのダウンタイムにより、総平均サイクル タイム (TACT) が短縮されます。 最大 35°C の給水により、施設の冷却水の必要量が削減されます。 消費電力はわずか 0.55 kW1 で、お客様のニーズを最小限に抑えることができます。所有コスト 単一のバリエーションで供給電圧範囲 200 ～ 460 V、50/60 Hz をカバー 非常に小型軽量で、貴重な工場スペースの節約に貢献

エドワーズ iXL600N ドライ真空ポンプ。 200 ～ 460 V、50/60 Hz の 3 相電源。 600 m3h-1 ピーク排気速度。含まれるもの: 3/8 クイック コネクト給水継手。Edwards PN: A54134010 iXL600N は、ドライ ポンプとブースター システムを組み合わせたものです。このシステムは軽負荷用途での使用を目的としており、N バージョンにはポンプ機構領域に窒素パージ ガスを供給するガス モジュールが装備されています。ステーター、モーター、インバータードライブは水冷式です。ポンプ システムは、フロント パネル、PDT アクセサリ、または MicroTIM 経由のツールによって制御できます。ドライ ポンプ システムは、ロード ロックおよび軽量用途での使用を目的としています。一般的なアプリケーションには、ロード ロック、トランスファー、計測、リソグラフィ、PVD プロセス、PVD プレクリーンなどがあります。

Edwards GX、iGX、iXH、iXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル、5Way、XLR プラグ、ハンドヘルド キーパッド ディスプレイ モジュール。 Edwards 部品番号: D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM、および iXL ポンプ ディスプレイ ターミナル 5 ウェイ XLR プラグ。 5 ウェイ XLR 接続を備えた Edwards GX、iGX、および iXL120 シリーズ ドライ ポンプ システム用のハンドヘルド ディスプレイ。エドワーズ掃除機の部品番号 D37280700。

Edwards SPI マイクロ TIM モジュールD37360310SPI マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards SPI ツール インターフェイスを提供します。 SPI マイクロ TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 SPI Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards MCM マイクロ TIM モジュールD37360320MCM MicroTIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards MCM ツール インターフェイスを提供します。 MCM Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 MCM Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ GXS シリーズ (MCM バージョンのみ) CXS シリーズ (MCM バージョンのみ) これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を提供するために利用できます。たとえば、インターフェースモジュールを変更せずにポンプを iH から iHs にアップグレードできます。 MCM マイクロ TIM は、GXS および CXS シリーズ ポンプと AUC 互換性があります。 iH iTIM D37422000 - MCM と同等。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards TEL マイクロ TIM モジュールD37360330TEL マイクロ TIM モジュールは、マイクロ TIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Edwards TEL ツール インターフェイスを提供します。 TEL Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 TEL Micro TIM は以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Semi E73 Micro TIM ModuleD37360340Semi E73 Micro TIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Semi E73 準拠ツール インターフェイスを提供します。 Semi E73 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Semi E73 Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards LAM Alliance Micro TIM モジュールD37360350LAM Alliance MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の LAM Alliance プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 LAM Alliance Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 LAM Alliance Micro TIM は、以下の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Novellus C3 Micro TIM モジュールD37360360Novellus C3 Micro TIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Novellus C3 プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。 Novellus C3 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。 Novellus C3 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Hitachi ツール インターフェイスを提供します。 Hitachi Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによるさまざまな Edwards ポンプの制御と監視を行うことができます。日立マイクロTIMは以下のエドワーズポンプと互換性があります。 EPX シリーズ iGX シリーズ GX シリーズ iXH シリーズ iXL シリーズ システムコントローラーを備えたマルチポンプシステムにも使用できます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。並列接続入力および互換性情報については、左側のダウンロード セクションにある Micro TIM または iTIM マニュアル.pdf を確認してください。

Edwards iXL ドライ半導体ポンプ プラグは、iXL シリーズ真空ポンプ用の電源ケーブルの作成に使用されます。これは、Edwards iXL シリーズ半導体真空ポンプ用の入力主電源ケーブルを作成するための Edwards iXL ドライ半導体ポンプ プラグ キットです。 iXL120およびその他のモデルで動作します。

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル。 Ideal Vacuum は独自のインターフェイス ケーブルを提供しており、古いスタイルの iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 のスタイルに置き換えることができます。この EMO ケーブル接続は、半導体ツールのサブファブに複数の古いスタイルの iH ポンプが接続されているアプリケーションに役立ちます。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの古いスタイルの iH ポンプと新しいスタイルの iXL120N 交換用ポンプを介して EMO 回路を継続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力)、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は、PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。 。問題は、Edwards iHシリーズのポンプが現在製造中止されており、入手できないことです。 Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、古いスタイルの IH ポンプのような前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照)。 Edwards iTIM は、多くの場合、サブファブ内の単一の半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていました。 EMO ケーブル配線は、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されています。これらのポンプは通常、デイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されています。