Ferrotec の 1.75 インチ中空シャフト、反応性ガスおよび水冷、8 インチ フェロ フランジ マウント直径、フェロフルイディック シール、ロータリー フィードスルー、モデル HS-1750-CFFCWP これは、1.75 インチ水冷中空シャフト Ferrotec フェロフルイディック シール フィードスルー モデル HS-1750-CFFCWP、部品番号: 107425 です。反応性薄膜堆積プロセス チャンバーなどの標準および反応性環境向けに設計されています。フランジの厚さは 0.5 インチで、100 rpm でのシャフト始動トルクは 800 in-oz、動作トルクは 473 in-oz です。制限速度は 1560 rpm です。完全な寸法の詳細は、以下で指定されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: HS-1750-CFFCWP: PN 107425

Ferrotec の中空シャフト、7 インチ Ferro フランジ マウント、強磁性流体シール、回転フィードスルー Ferrotec モデル HS-1500-SLFBC、PN:103360 これは、直径 7 インチの Ferro フランジを備えた Ferrotec の中空シャフト回転フィードスルーです。シャフトの直径は 1.5 インチ、フランジの厚さは 0.38 インチ、ハウジングの全長は 3.0 インチです。100 rpm での始動トルクは 96.9 in-oz、100 rpm での動作トルクは 57.2 in-oz です。制限速度は 2320 rpm です。HS-1500-SLFBC 真空回転フィードスルーは、Ferrotec の標準的な炭化水素ベースの強磁性流体を使用し、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールを使用して回転運動を導入するように特別に最適化されています。HS-1500-SLFBC 真空回転フィードスルーは、強磁性フランジ マウントを備えた中空シャフトを特徴としています。寸法の詳細は下記に明記されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: HS-1500-SLFBC: PN 103360

Ferrotec のソリッド シャフト、1 インチ シャフト、水冷式、6 インチ フェロ フランジ マウント、フェロフルイディック シール、ロータリー フィードスルー、モデル SS-1000-SLFAW、PN:121159これは、1 インチ ソリッド シャフト Ferrotec フェロフルイディック シール フィードスルー モデル SS-1000-SLFAW (部品番号 121159) です。SS-1000-SLFAW 真空ロータリー フィードスルーは、6 インチ フェロ フランジ マウント直径のソリッド シャフト、フランジ厚 0.53 インチ、シャフト トルク容量 1960 in-lb、100 rpm での始動トルク 29.2 in-oz、動作トルク 17.3 in-oz を特徴としています。完全な寸法の詳細は以下に記載されています。この真空シールは、高温用途向けに水冷式でもあります。 SS-1000-SLFAW 真空回転フィードスルーは、Ferrotec の標準炭化水素ベースの強磁性流体を使用しており、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールによる回転運動を導入するために特別に最適化されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: SS-1000-SLFAW、PN:121159

理想的な真空フィードスルー、電力 50V 1000A、1 インチ ベースプレート バルクヘッド マウント、水冷、1 ピン。水冷フィードスルーは、接地された閉ループ冷却システムおよび脱イオン水などの非導電性冷却剤での使用を目的としています。これらのフィードスルーの標準導体オプションには、銅、ニッケル、ステンレスのチューブが含まれます。これらの水冷フィードスルーの定格は、最大 DC 50 ボルト、最大 1000 アンペアです。特徴は次のとおりです。 一般的な寸法: A = 3.97、B = 2.50、C = 2.00 フィードスルー直径: 1 インチ ベースプレートの材質: 真鍮、テフロン、およびステンレス鋼のフィッティングを備えた単一中空銅導体。フィードスルー (または真空フィードスルー) には、電流、信号、流体、ガス、または機械的動作を真空チャンバーの外側 (空気側) から真空チャンバーの内側 (真空側) にチャンバー内の機器に伝達するためのさまざまな形式があります。フィードスルーの入口点は、適切な貫通穴を介して真空シールする必要があります。フィードスルーは溶接可能 (溶接オン) にすることも、CF、KF、または ISO 真空フランジを使用して真空チャンバーに接続することもできます。 CF Con flat フランジは、通常、10 ～ 12 Torr までの超高真空圧力を必要とするプロセス用で、銅ガスケット付きのナットとボルトによって真空シールされています。サイズは 1.33 インチ (ミニ コンフラット)、2.75、4.5、6、8、10、12、13.25、14、16.5 です。インチ外径。 KF またはクイック フランジは、10-9 Torr までの高真空圧に対応し、クランプとエラストマー O リングによって真空シールされます。サイズはKF10、KF16、KF25、KF40、KF50があります。 ISO またはラージ フランジは、10-6 Torr までの高真空圧力に対応し、ナットとボルト (ボルト穴のあるフランジの場合) または爪クランプ (滑らかな面とボルト穴のないフランジの場合) を介して真空シールされます。真空シールにエラストマー O リングを使用しています。サイズは63mm、80、100、160、200、250、320、400、500、630mmからお選びいただけます。すべてのフランジは耐腐食性のステンレス鋼で作られています。フィードスルーは数千インチあり、特定の真空プロセスでは選択が非常に困難になる場合があります。要件について疑問がある場合は、当社の常駐エンジニアにお問い合わせください。お客様の真空プロセスに適切なフィードスルーを見つけるお手伝いをいたします。当社は、通常とは異なるカスタマイズされたフィードスルー、真空チャンバー、および付属品を専門としています。 505-872-0037までお電話ください。フィードスルー電力の種類: 電力フィードスルーは、大気 (外部) から真空 (内部) に電気を伝送する電気フィードスルーの一種です。電力フィードスルーには、真空デバイスのチャンバー壁に入る 1 つ以上の導体があります。導体は、溶接されるか、真空フランジまたはベースプレートを介して接続される電気絶縁体に封止されます。導体金属はワイヤー、ロッド、またはチューブの形で提供されます。導体材料は電流、耐食性、磁気に基づいています。選択の際に考慮すべき点は、動作電圧、最大電流、ベース圧力、および使用環境です。指定された電圧または電流を絶対に下回らないでください。アーク放電、溶融、または絶縁体の破損を引き起こす可能性があります。選択に迷った場合は、お電話ください。熱電対: 熱電対フィードスルーは、幅広い温度測定プロセスで使用される堅牢でコスト効率の高い温度センサーです。異なる金属で構成された 2 本のワイヤの両端が接続され、一方の端が加熱されると、熱電回路に連続電流が流れます。この回路が中心で断線した場合、正味の開路電圧 (ゼーベック電圧) は接合部温度と 2 つの金属の組成の関数になります。これは、2 つの金属の接合部が加熱または冷却されると、温度と相関関係のある電圧が生成されることを意味します。適切に構成されている場合、熱電対は幅広い温度範囲にわたって測定を行うことができます。それらには 1 対以上のワイヤが含まれており、成形プラグ、プッシュオン、分割コネクタがあり、内側 (真空) または外側 (大気) にラグまたはネジ コネクタがある場合があります。考慮すべき点は、温度範囲、温度箇所の数、シースの材質、線径、金属の種類、および同じフィードスルー内の電源導体です。さまざまな温度範囲を持つさまざまな金属で作られたさまざまなタイプの熱電対フィードスルーがあります。選択に迷った場合は、お電話ください。 計装: マルチピン フィードスルーとも呼ばれる計装フィードスルーは、真空壁を越えて電気信号や低電力アプリケーションを転送します。これらは、電子顕微鏡、表面分析、半導体プロセス制御などの計測用途に使用されます。これらは、真空壁の内側 (真空) または外側 (大気) のいずれかの側にピンまたは同軸を備えた電気コネクタで構成されます。選択する前に考慮すべきことは、ケーブルからシールドまでの最大電圧、シールドからグランドまでの最大電圧、信号電圧、グランド、インピーダンス、温度範囲、接続数、コネクタのタイプなどです。注文する際には、適切なコネクタがあることを確認することが非常に重要です。注文に付属しているかどうか。計装接続フィードスルーにはさまざまな種類があります。不明な点がある場合は、お問い合わせください。液体またはガス: 液体またはガスフィードスルーは、真空に取り付けられたデバイスまたはチャンバーにガスまたは液体を供給します。この気体または液体は、真空チャンバー内で特定の温度を維持できます。これらは、貫通穴に溶接された 1 つまたは複数のチューブを備えた CF または KF フランジまたはベースプレート ポートで注文でき、フランジ/ベースポートの両側にチューブが伸びています。チューブにはさまざまな直径があり、多くの場合、小さなフランジまたはガス継手で終端されます。考慮すべき点は、デバイスの壁の未使用のフランジと一致するフランジ、フィードスルーの数、チューブの直径、フィードスルーの入口ポートのサイズ、および両側のコンポーネントと一致する終端です。ご不明な点がございましたら、お電話ください。ロータリーモーション:ロータリーモーションフィードスルーは、真空側シャフトを回転させる空気側シャフトです。ロータリードライブにはいくつかのタイプがあり、アクチュエータ機構、真空シール、互換性のある圧力範囲、用途によって区別されます。シールに背中合わせのダブル O リングを使用するエラストマー シールと、より高い RPM と高トルク容量を実現する磁性流体 O リング技術を使用したフェロ シールの 2 つのタイプがあります。フィードスルーは、反復可能な動きまたは粗い位置決めを提供することができ、回転運動、直線運動、またはその両方の組み合わせを提供することもできます。手動回転から空気圧、電動まで、数多くの作動設計が利用可能です。ご不明な点がございましたら、お問い合わせください。 アクセサリ: フィードスルーには、必要な接続を行うために追加のハードウェアが必要な場合があります。当社では、真空チャンバー内外用のケーブル、電気/同軸コネクタ、ピンを取り揃えています。どのアクセサリを購入すればよいかわからない場合は、お問い合わせください。カスタム フィードスルー: 真空プロセスに適したフィードスルーを選択することは、非常に難しい作業となる場合があります。私たちはその選択をお手伝いします。当社は、お客様の特定の真空プロセスに合わせた独自のフィードスルーの設計と製造も専門としています。選択が役立つ場合でも、新しいフィードスルーを製造する場合でも、当社の技術者/エンジニアにノウハウを活用して真空プロセスの目標を迅速に達成してもらいましょう。今すぐ 505-872-0037 までお電話ください。

Ferrotec のソリッド シャフト、シャフト径 0.25 インチ、ナット取り付け、フェイス シール O リング、1 インチ スレッド ボディ ロータリー フィードスルー、強磁性流体シール、1.13 インチ スレッド長さ、モデル SS-250-SLBE、PN:107519。これは、0.25 インチ ソリッド シャフト Ferrotec 強磁性流体シール フィードスルー モデル モデル SS-250-SLBE、PN:107519 です。 SS-250-SLBE 真空ロータリーフィードスルーは、ナットマウントフランジ径 1.62 インチのソリッドシャフト、1 インチのねじ付きボディ (ねじ長さ 1.13 インチ) を備えています。フランジの厚さは 0.25 インチ、推奨取り付け穴は 1.025 インチです。シャフトトルク容量は 15.5 in-lb、100 rpm での始動トルクは 0.19 in-oz、動作トルクは 0.11 in-oz です。全寸法の詳細は以下に記載されています。この真空シールは、高温用途向けに水冷式です。SS-250-SLBE 真空ロータリーフィードスルーは、Ferrotec の標準炭化水素ベースの強磁性流体を使用しており、ほとんどの標準環境で磁性液体密閉シールを使用して回転運動を導入するために特別に最適化されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。Ferrotec モデル: SS-250-SLBE、PN:107519