Ferrotec の 1.75 インチ中空シャフト、反応性ガスおよび水冷、8 インチ フェロフランジ マウント直径、フェロ流体シール、ロータリー フィードスルー、モデル HS-1750-CFFCWP
これは、1.75 インチの水冷中空シャフト Ferrotec フェロフルイディック シール フィードスルー モデル HS-1750-CFFCWP、部品番号: 107425 です。反応性薄膜堆積プロセス チャンバーなどの標準および反応性環境向けに設計されています。フランジの厚さは 0.5 インチで、100 rpm でのシャフト始動トルクは 800 in-oz、動作トルクは 473 in-oz です。制限速度は 1560 rpm です。
完全な寸法の詳細は下記に指定されています。精密測定仕様については、仕様管理図を参照してください。
フェローテック モデル: HS-1750-CFFCWP: PN 107425