説明

熱真空チャンバー

これは、究極の環境シミュレーションシステムである、Universal Process ExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーシステムです。23 インチ × 23 インチの高表面積断熱プラテンで、サンプルの加熱および冷却温度を -70 ～ +225 °C の範囲で、精度 ± 0.3 °C で制御します。このシステムには、ターンキーで完全に統合された粗真空および高真空システムがあります。大型の 24 インチ立方体の溶接ステンレス鋼真空チャンバー、ビューポート付きのヒンジ付きステンレス鋼ドア、および 8.0 立方フィートの容積を備えています。

システムには Pfeiffer HiPace 300 ターボ分子ポンプと Edwards nXR30i ドライルーツ真空ポンプが搭載されており、10 ^-7 Torr という低い到達圧力を実現できます。構成どおりに、ドライポンプのみを備えたこのユニバーサルプロセスシステムは、ローカル圧力から 2 × 10 ^-2 Torr まで、測定ゲージ値の精度で完全な圧力制御が可能です。高度シミュレーションの場合、システムの上限は 280,000 フィートです。チャンバーがクロスオーバーされ、ターボ分子真空ポンプによって排気されると、その圧力は 10 ^-7 Torr の範囲で深宇宙の圧力をシミュレートし、極低温でも材料を脱ガスできます。チャンバーの通気は、スマート Ideal Vacuum CommandValve™ によって制御され、これにより、物体が自由落下中に感じるよりも速い加圧である、最大 10 Torr/秒の速度でチャンバーを加圧できます。オペレータは、高度、トル、大気圧、バール、パスカル、または PSI から好みの圧力単位を選択できます。このシステムには、ユーザーとロジックコントローラにフィードバックを提供する 2 つのコンベクトロン、マイクロイオン、および圧電真空圧力ゲージが含まれています。内部で調整されるパージガスポートにより、高純度または酸素と水のない作業のために、ユーザーが選択したガスをチャンバーに導入できます。広々とした LF-200 サイドポートは、デバイス監視または衝撃テスト用の電子フィードスルー、放射加熱または温度差テスト用の赤外線ランプアレイ、電離放射線テスト用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリ用に使用できます。この Ultimate Universal ExploraVACシステムの重量は 1303 ポンドで、単相 208 ～ 240 VAC、50/60 Hz、46 アンペアが必要です。

ユニバーサルテストシステム

場合によっては、特定のプロセスにどのテストや機能が必要になるかを事前に知ることは不可能です。また、スペースや資金が不足しているため、単一のシステムを汎用テストシステムまたはプロセスシステムとして機能させる必要がある場合もあります。たとえば、学術的な航空宇宙工学研究所では、高度シミュレーション、環境テスト、宇宙シミュレーションを実行して、実験用航空機、宇宙船、CubeSat の部品やデバイスをすべて認定するための単一のテストチャンバーが必要になる場合があります。材料合成研究所では、高真空下でナノチューブを熱分解、凍結乾燥、脱ガスしたり、有望な新しい軽量ポリマーのさまざまな温度と圧力で機械的特性を測定できる単一の真空チャンバーが必要になる場合があります。Ideal Vacuum のExploraVAC汎用テストチャンバーシステムは、これらのニーズをすべて満たすことができます。さらに高速でより深い極低温冷却 (-170 °C まで) が必要な場合は、XtremeFreez 循環液体窒素冷却オプションを使用して、さらに低温の宇宙温度のシミュレーションや熱衝撃テストを行うことができます。

すべてのオプションのパフォーマンスデータについては、以下のパフォーマンスグラフ PDF ダウンロードを参照してください。

ExploraVACユニバーサルプロセスシステム構成:

24インチキューブ溶接ステンレススチールチャンバー
ステンレススチール製フロントチャンバードア
完全な真空圧力制御
ポートのパージ
加熱・冷却プレート
プラテン温度範囲: -70°C ～ +225°C
プレート昇温速度: 加熱 3.5°C/分、冷却 3°C/分
ファイファー HiPace 300 ターボ分子ポンプ
Edwards nXR30i ドライルーツ真空ポンプ
数量 2 LF-200 サイドポート (チャンバーの両側からさまざまなフィードスルーを追加できます)

ExploraVACシリーズの TVAC 熱真空チャンバープロセスおよびテスト機器は、正確な環境を作り出し、オペレーターがチャンバー内の圧力と温度を完全に制御できるようにします。これらはイノベーションを念頭に置いて構築されています。製品の研究開発段階で真空内でプロトタイプデバイスを探索したり、小ロット処理で正確なプロセス制御を行ったりできます。これらの熱真空テストチャンバー機器は、製品が真空と温度の極度のストレス要因にさらされるときに、ユーザーが実験を迅速にカスタマイズして製品分析および診断データを収集できるように設計されています。

ExploraVAC TVAC 熱真空テストチャンバーは、多数の利用可能なシステムオプションを使用して完全に構成可能です (上記の製品コンフィギュレータを参照)。

ExploraVACシステム構成オプション:

粗引きポンプ（乾式スクロールまたは乾式多段ルーツ、各種速度）
高真空（さまざまな速度）
完全な真空圧力制御
加熱・冷却プレート
チャンバー壁加熱
統合チャンバー照明
閉ループ冷却またはLN ₂極低温冷却システム
自動ソフトウェア制御
リモコン操作
パージポート、チャンバーシェルフ、その他

ExploraVACには、(内部) 立方サイズ (12、16、20、または 24 インチ) の溶接ステンレス鋼チャンバーや、(内部) 立方サイズ (9、12、または 24 インチ) の Ideal Vacuum Cube™ モジュラーチャンバーなど、幅広い真空チャンバーが用意されています。チャンバーは、アルミニウム製またはステンレス鋼製のドアで構成でき、ビューポートの有無を選択できます。

ExploraVAC TVAC システムキャビネットには、すべてのチャンバー機能を制御するカラー LED プッシュボタンインターフェイスを備えた、便利な角度のフロントパネルコントロールサーフェスがあります。PID コントローラとゲージは、ユーザーが選択したオプションに応じてインストールされます。PLC は、効率的なポンプダウンサイクルのためのポンプとバルブのシーケンス、機器の損傷を防ぐための安全インターロックなどのシステム機能を管理します。前面からアクセスできる NEMA スタイルの組み込みエンクロージャには、システム操作に必要な電子機器が収納されています。

LF-200 の広々としたサイドポートには、デバイス監視や衝撃試験用の電子フィードスルー、放射加熱や温度差試験用の赤外線ランプアレイ、電離放射線試験用の紫外線ランプアレイなど、ユーザーが選択または設計したアクセサリを取り付けることができます。このシステムは、キャビネットの外側に真空ポンプを追加することで、任意の上昇率が得られるようにカスタマイズできます。

キャビネットの背面には、チャンバーの通気、ポンプの排気、パージガスオプション用のバルクヘッドフィードスルーパネルがあります。デジタルフィードスルーバックパネルには、 Auto Explor ™ ソフトウェアを使用して Microsoft Windows 10 または 11 を実行しているワークステーションまたはラップトップからシステムをリモートで実行するための DB9 コネクタを含む複数のポートがあります。

AutoExplorの (無期限の) 基本バージョン (P1012102) を使用すると、ユーザーはシステムを保護しながらデバイスを手動で制御できます。AutoExplorはポンプを適切に順序付け、特定の要求に対して適切なバルブを自動的に操作します。ユーザーは圧力と温度の設定値、ランプレート、ソーク時間、およびベント (システムにこれらのハードウェアオプションが装備されている場合) をプログラムできます。ソフトウェアはリアルタイムのグラフィカルデータストリーミングを提供するため、ユーザーはシステムの動作を視覚化できます。AutoExplorは内部予防保守スケジュールを維持し、システムサービスが期限切れになるとユーザーに通知します。たとえば、スクロールポンプのチップシールの交換が必要な時期やセンサーのキャリブレーションの時期を通知します。これにより、システムを最高の動作パフォーマンスに保つことができます。また、デバイス障害が発生した場合は、障害およびエラーメッセージと具体的なトラブルシューティング情報が提供され、問題をできるだけ早く修正できます。

AutoExplorのプレミアムバージョン (P1012100) には、基本ソフトウェアパッケージ (上記) のすべての機能に加えて、自動レシピ制御、データロギング、およびログエクスポート機能が含まれています。複雑なテストレシピをステップバイステップのプロセスとして作成でき、各ステップで複数のデバイスのオン/オフ状態、セットポイント、およびランプレートを制御できます。各レシピステップの 1 つまたは複数の終了条件は、論理演算子を使用して設定できます。プレミアムバージョンでは、レシピデータログファイルから環境 TVAC テストレポートをすばやく生成できます。ログを確認して、対象のプロセスパラメータが達成されていることを確認できます。プレミアムバージョンには、 AutoExplor IP Clientも含まれています。これにより、ソフトウェアは複数の外部ネットワーククライアントを管理できるホストとして使用できます。また、 AutoExplor API (アプリケーションプログラミングインターフェイス) も含まれています。これにより、科学者またはプログラマは、 AutoExplor のソフトウェアインターフェイスを使用せずに、 ExploraVac機器を既存のソフトウェアテストスイートに統合できます。プレミアムバージョンは毎年更新する必要があります。そうしないと、基本バージョンに戻ります。

ExploraVACシリーズの TVAC 圧力および温度制御テストチャンバーは、多くの製品テスト要件に最適なソリューションです。

サンプルアプリケーション