Pfeiffer HiPace 1200 ターボ ポンプ DN200 ISO-F 200 インレットおよび HiScroll 18 ラフィング ドライ スクロール ポンプ パッケージは、TC 1200 ドライブ ユニット OmniControl 001 および水冷に対応します。この Pfeiffer HiPace 1200 ターボ ポンプ パッケージは、DN200 ISO-F 200 入口フランジに対応しており、Pfeiffer HiScroll 18 ドライ スクロール粗引きポンプが含まれています。 HiPace 1200 の排気速度は 1300 リットル/秒 (l/s)、到達圧力は 7.5 x 10
-8 Torr で、水冷ユニットが事前に取り付けられています。ポンプには、統合された底部取り付け型 TC 1200 電子ポンプ ドライブ ユニットが装備されています。このパッケージには、RS485 通信ケーブルを介してポンプから電力を供給される大型 LED ディスプレイを備えた OmniControl 001 ディスプレイ コントロール ユニットが含まれています。ポンプを破片から保護するために、細かいメッシュ (0.8 mm) スクリーンを備えた破片ガードもこのパッケージの一部です。このターボ ポンプ パッケージ取引には粗引きポンプが含まれていますが、粗引きライン、真空チャンバー、圧力測定ゲージ、またはバルブは含まれていません。一部のアップグレードには、バッキング ポンプ リレー ボックス、ソレノイド通気、またはシール ガス パージ バルブが含まれる場合があります。これらのアイテムはすべて、Ideal Vacuum によって個別に入手および販売されます。
ISO-F 200 フランジ付き HiPace 1200 ターボポンプについてISO-F 200 入口フランジと KF-40 出口フランジを備えた Pfeiffer HiPace 1200 ターボ分子高真空ポンプは、1300 リットル/秒 (l/s) の排気速度と 7.5 x 10
-8 Torr の到達圧力を備えています。垂直 (上部に高真空フランジ) から 90° (水平) まで取り付けることができます。最大 1350 ワットの 100 ~ 120/200 ~ 240 VAC 50/60 の入力電力は、付属の NEMA 5-15P - Hastings HAN 3 入力電源ケーブルを使用してポンプに直接供給されます。この Pfeiffer HiPace 1200 ポンプには、ポンプの側面に統合された TC 1200 ドライブ ユニットが付属しています。 TC 1200 には、RS485 (M12) 通信および電源ポート、リモート操作用の D-sub コネクタ、および追加機器用の 2 つの M12 アクセサリ ポートがあります。 ISO-F 200 インレットおよび TC 1200 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 1200 ターボ ポンプには水冷が標準装備されており、Pfeiffer 部品番号 PM P06 001 が付いています。
HiScroll 18 ドライスクロール粗引きポンプについてこの Pfeiffer HiScroll 18 ドライ スクロール粗引き/バッキング ポンプの排気速度は 10.7 cfm (18.1 m
3 /hr)、到達真空度は 5.25 x 10
-3 Torr (7 x 10
-3 mbar) です。 KF-40(NW40)の吸入口、吐出口を装備しています。 100 ~ 240 VAC、50/60 Hz、単相電源の入力が必要で、ポンプには標準の C14 入力電源コネクタが付いています。 HiScroll 18 ポンプは 10A@120VAC (6A@240VAC) を消費し、47 dB(A) と非常に静かです。この HiScroll ポンプは、内部モーター保護機能と統合された 2 段階ガスバラストを備えており、水、溶剤、希酸、塩基などの凝縮性蒸気のポンプ輸送を可能にします。最大乾燥空気または不活性ガスのバラスト圧力は 21.7 psi (1500 hPa) です。
OmniControl 001 ドライブコントロールユニットについてPfeiffer OmniControl 001 ターボ ポンプ コントローラーはベンチトップまたはラックに取り付けることができ、統合された TC 1200 ドライブ ユニットを備えた Pfeiffer HiPace 1200 ターボ ポンプを操作するように設計されています。 OmniControl 001 ドライブ ユニットはポンプから電力を供給され、電源は内蔵されていません。 OmniControl 001 は、付属の 3 メートルの長さの RS485 インターフェイス ケーブルを介して、HiPace 1200 ターボ ポンプのすべての主要パラメータを制御できます。 OmniControl 001 は独自の電源を持たないため非常にコンパクトで、Pfeiffer 部品番号は PE D40 100 0 です。
水冷ユニットについてHiPace 1200 ターボ ポンプには水冷が標準装備されています。水冷ユニットには、供給ホースと排出ホース(外径10mmのプラスチックホース)用のプッシュフィットコネクタが付いています。ホース接続部のネジを外して取り外すと、統合された G 1/4 インチネジを使用できます。
このパッケージ取引のアプリケーションには次のものが含まれます。- 質量分析法
- ガスクロマトグラフィー質量分析 (GC/MS)
- 液体クロマトグラフィー質量分析 (LC/MS)
- 誘導結合プラズマ質量分析 (ICP-MS)
- 飛行時間型質量分析法 (TOF)
研究開発における空白:- 高エネルギー物理学
- 融合技術
- 一般的な UHV 研究
- シンクロトロン光源 粒子加速器
ナノテクノロジー機器:- 電子顕微鏡法
- 走査型電子顕微鏡 (SEM)
- 透過型電子顕微鏡 (TEM)
- 集束イオンビームシステム (FIB)
- 表面分析
- 半導体製造
工業用真空処理:- 薄膜堆積:
- ガラスコーティング装置(建築用・自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ)
- 薄膜太陽電池の製造(太陽光発電)
- 光データメディア (CD、DVD、光磁気ディスク)
- 磁気記憶媒体
- 表面処理
- 光学コーティング (眼科用、精密オプトエレクトロニクス)
- フィルムまたはフォイルへのロール/ウェブコーティング
デバイスの処理:- テレビおよびモニター受像管の製造
- ランプの避難(高速道路の照明、ビーマー)
- X線管と電子機器
一般的なプロセス:このパッケージ取引は、多くの個別の部品で構成されるキットとして在庫に保管されており、各部品は以下の
「キット コンポーネントの入手可能性」セクションにリストされています。取扱説明書はダウンロードで入手できます。