理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリ、304L ステンレス鋼シリンダー、Matheson 3530A シングルステージレギュレーターシリンダーグレード: DOT-3E-1800、304L ステンレス鋼理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリは、さまざまな用途でプロセスガスの混合を簡素化するように設計されています。 。このシステムは、ガス レギュレーターとガス レギュレーター パージ バルブ アセンブリを備えており、高圧ニードル バルブ (最大 6000 PSI) を使用して、混合シリンダーへのガスの流れを正確に制御します。このシステムに装備されているシリンダーは 304L ステンレス鋼で、肉厚は 2.4 mm で、推奨最大値 1800 PSI (@ 37°C) まで加圧できます。内部 PTFE コーティングまたは内部電解研磨仕上げを施したシリンダーもこの Web サイトで入手できます。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。 パージシステムは、シリンダーを使用していないときにレギュレーターを清潔に保つために非常に重要です。腐食性ガスが混入すると、最終的にレギュレーターのシールが侵食され、時間の経過とともにレギュレーターが故障する原因になります。これを回避するには、パージ組立ラインを不活性ガスシリンダーと真空ポンプに接続します。レギュレータの寿命を大幅に延ばすために、混合アセンブリを使用した後は、いかなる量の腐食剤であっても、レギュレータを排気して不活性ガスで数回パージすることをお勧めします。潜在的な用途には以下が含まれます。 質量分析計 残留ガス分析装置 (RGA) テスト 気相クロマトグラフィー インキュベーター ガス混合物貯蔵 半導体ガス サンプリング レーザー分光法 前駆物質の配送 大気外サンプル貯蔵 化学ガス レーザー用ガスの充填 一般的なガス混合および貯蔵用途

理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリ、304L ステンレス鋼シリンダー、Matheson 3530A シングルステージレギュレーターシリンダーグレード: DOT-3E-1800 理想的な真空ガスシリンダー混合アセンブリは、さまざまな用途でプロセスガスの混合を簡素化するように設計されています。このシステムは、ガス レギュレーターとガス レギュレーター パージ バルブ アセンブリを備えており、高圧ニードル バルブ (最大 6000 PSI) を使用して、混合シリンダーへのガスの流れを正確に制御します。このシステムに装備されているシリンダーは 304L ステンレス鋼で、肉厚は 2.4 mm で、推奨最大値 1800 PSI (@ 37°C) まで加圧できます。内部 PTFE コーティングまたは内部電解研磨仕上げを施したシリンダーもこの Web サイトで入手できます。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。 パージシステムは、シリンダーを使用していないときにレギュレーターを清潔に保つために非常に重要です。腐食性ガスが混入すると、最終的にレギュレーターのシールが侵食され、時間の経過とともにレギュレーターが故障する原因になります。これを回避するには、パージ組立ラインを不活性ガスシリンダーと真空ポンプに接続します。レギュレータの寿命を大幅に延ばすために、混合アセンブリを使用した後は、いかなる量の腐食剤であっても、レギュレータを排気して不活性ガスで数回パージすることをお勧めします。潜在的な用途には以下が含まれます。 質量分析計 残留ガス分析装置 (RGA) テスト 気相クロマトグラフィー インキュベーター ガス混合物貯蔵 半導体ガス サンプリング レーザー分光法 前駆物質の配送 大気外サンプル貯蔵 化学ガス レーザー用ガスの充填 一般的なガス混合および貯蔵用途

原子層堆積 (ALD) 液体前駆体蒸気供給シリンダー システム シリンダー容積: 150cm3 シリンダー グレード: DOT-3E-1800 液体前駆体からの気相蒸気の制御された供給は、化学蒸着 (CVD)、有機金属のプロセスで必要です。化学気相成長 (MOCVD) および原子層成長 (ALD)。これらの液体蒸気ガス供給シリンダーには、バッファーガスの流れの中に前駆体蒸気を閉じ込めるのに役立つ統合バブラーが含まれています。これらの蒸気供給シリンダーは耐薬品性 316 ステンレス鋼で作られており、入口と出口に 1/4 回転のボール バルブが付いています。シリンダーは最大 1800 PSI (@ 37°C) の圧力に耐える定格があります。シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。それぞれの温度制限を超えてシリンダーを加圧しないでください。各バルブには流れの方向が印刷されており、バッファーガスが堆積プロセスに向かって正しい方向に流れると、シリンダーの底に気泡が形成され、前駆体液体中を上昇します。これにより、バッファガス (通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴン) 内の希薄前駆体蒸気の一定の安定した流れが可能になります。これらの液体前駆体蒸気送出ガスシリンダーは、前駆体の蒸気圧と濃度を制御するために加熱または冷却することができます。これにより、正確な流量濃度を生成することができます。入口および出口バルブは 1/4 インチの Swagelok® フィッティング ボール バルブであり、自然発火性液体には対応していません。可燃性の高い自然発火性液体を使用した ALD アプリケーション向けに、当社のデリバリー シリンダーは安全性を向上させるためにダイヤフラム バルブを備えてアップグレードされており、トリメチル アルミニウム (TMA)、トリエチル アルミニウム (TEA)、ジエチル亜鉛 (DEZn)、トリメチル ガリウムなどの自然発火性液体にも適用できるようになりました。 （TMGa）。 Swagelok-TM Swagelok Company