原子層堆積 (ALD) 液体前駆体蒸気供給シリンダー システム
シリンダー容積: 150cm3
シリンダーグレード: DOT-3E-1800化学蒸着 (CVD)、有機金属化学蒸着 (MOCVD)、および原子層蒸着 (ALD) のプロセスでは、液体前駆体からの気相蒸気の制御された供給が必要です。これらの液体蒸気ガス供給シリンダーには、バッファーガスの流れの中に前駆体蒸気を閉じ込めるのに役立つ統合バブラーが含まれています。これらの蒸気供給シリンダーは耐薬品性 316 ステンレス鋼で作られており、入口と出口に 1/4 回転のボール バルブが付いています。シリンダーは最大 1800 PSI (@ 37°C) の圧力に耐える定格があります。
シリンダーの最大圧力定格は温度によって異なります。シリンダーをそれぞれの温度制限を超えて加圧しないでください。
各バルブには流れの方向が印刷されており、バッファガスが堆積プロセスに向かって正しい方向に流れると、シリンダーの底に気泡が形成され、前駆体液体中を上昇します。これにより、バッファガス (通常はヘリウム、ネオン、またはアルゴン) 内の希薄前駆体蒸気の一定の安定した流れが可能になります。これらの液体前駆体蒸気送出ガスシリンダーは、前駆体の蒸気圧と濃度を制御するために加熱または冷却することができます。これにより、正確な流量濃度を生成することができます。
入口および出口バルブは 1/4 インチの Swagelok® フィッティング ボール バルブであり、自然発火性液体には対応していません。可燃性の高い自然発火性液体を使用した ALD アプリケーション向けに、当社のデリバリー シリンダーは安全性を向上させるためにダイヤフラム バルブを備えてアップグレードされており、トリメチル アルミニウム (TMA)、トリエチル アルミニウム (TEA)、ジエチル亜鉛 (DEZn)、トリメチル ガリウムなどの自然発火性液体にも適用できるようになりました。 (TMGa)。
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