バーストディスク KF25 フランジ、超高真空、大気への圧力解放、72 F で定格 9 ~ 11 PSI真空チャンバー過圧生産用安全ベントバーストディスク (UHV 定格)これらの真空システムのバースト ディスクは、偶発的な真空チャンバーの過圧イベントの場合に安全な圧力逃がし経路を提供します (これらのバースト ディスクの定格は、KF25 フランジを使用して 9 ~ 11 PSIG および 72 °F)。これらは、超高真空 (UHV) 用途向けに定格された全金属密閉デバイスで、真空チャンバーとシステムのオペレーターを保護するように設計されています。バーストディスクは薄い金属箔のダイヤフラムでできており、これがスパイクのリングに押し戻されてディスクが破裂し、瞬時に圧力を逃がす経路が可能になります。真空チャンバーは、チャンバー内に加わる大気圧の負荷に対処できるように設計されています。これらは、フランジ、ビューポート、圧縮ポートなどのコンポーネントが破裂して怪我をする危険性がある、大気より高い内部の正圧に対処するように設計されていません。これらのバーストディスクの仕様は次のとおりです。UHV 互換の全金属構造、72 °F で圧力リリーフ範囲 9 ~ 11 PSIG、ヘリウム 2x10-10 std.cc/秒までの漏れ防止、316 ステンレス鋼の本体とディスク膜、ベーキング可能450℃まで。