理想的な真空キューブ交換用シリコンシーリングOリング。12x12真空キューブプレートのシーリング用に設計されています。

当社の Ideal Vacuum Cube は、真空チャンバー システム構築における創造性と設計の柔軟性を実現するように考案されたモジュール式の高真空チャンバー システムです。キューブはさまざまな形状や構成に積み重ねることができ、交換可能なプレートにより、接続、ウィンドウ、フィードスルーのさまざまな機能を実現できます。プレートには、標準の 1 インチ光学パターンに 1/4 インチ - 20 の取り付けネジが付いており、ヒンジ、ポスト、マウント、レンズ、偏光子、その他のアクセサリを簡単に接続できます。

耐久性と汎用性

Ideal Vacuum Cubes は、内部寸法が大きく、オープンな設計のため、多くの真空チャンバーの用途や実験に最適です。Vacuum Cubes は軽量の 6061-T6 アルミニウム合金で作られているため、ラボ内を簡単に移動でき、光学テーブルに取り付けることもできます (重いステンレススチール製の真空チャンバーとは異なります)。特許出願中のシール保護設計、ステンレススチール製のねじ込みインサート、パウダーコーティングされた外側プレート仕上げにより、Vacuum Cube は最も過酷な使用にも耐える耐久性のあるツールとなっています。

技術詳細

特許出願中のチャンバーシステム

当社の理想的な真空キューブは、テーパーシール技術を採用した特許出願中の設計です。作業面に設置すると簡単に損傷する可能性のある Conflat CF、KF/NW、ISO-LF (大型フランジ) などの他の真空フランジ設計とは異なり、当社のテーパーシール設計は、損傷や汚染の原因となる接触から重要なシーリングエッジと O リングを保護します。

革新的なチャンバービルディングブロック

Ideal Vacuum Cube は簡単に積み重ねて、複雑でありながら軽量な真空システムを構築できます (下の図を参照)。各真空キューブの外縁にはハードウェア取り付けソケットが付いており、キューブ同士を簡単に接続できます。キューブ カップリング キットには、2 つのキューブを接続するために必要なハードウェアが含まれています。これにより、科学者は実験室で長い真空システムや奇妙な形の真空システムを創造的に構築できます。

カスタマイズ可能なプレートとアクセサリ

真空キューブは、さまざまなオプションを備えたさまざまなプレートとウィンドウで構成できます。真空キューブには、電力、熱電対温度測定、光学レーザー光または画像検出器、ガス供給、または熱/冷却再循環ラインの流体フロー用のフィードスルーを取り付けることができます。互換性のある標準フランジ スタイルには、KF-16、KF-25、KF-40、KF-50、ISO-63 のほか、conflat CF 2.75、CF 3.375、および CF 4.5 インチ フランジ ポートがあります。表示ウィンドウも用意されており、リクエストに応じてカスタム プレートを製造できます。オプションのヒンジ キットを注文して、任意のプレートを操作可能なドアに変換できます。

理想的な真空キューブの用途

当社の Ideal Vacuum Cube は、レーザー研究アプリケーションに素早く設置できるよう光学研究室にうまく組み込めるよう設計されています。下の図は、6x6x18 インチの Ideal Vacuum Cube チャンバーを使用した、レーザー分光研究室のセットアップ例、キャビティ リング ダウン分光法 (CRDS) 真空チャンバー システムを示しています。当社の Ideal Vacuum Cube はモジュール設計のため、さまざまな真空チャンバー アプリケーションに適しています。

• 真空紫外線（VUV）装置と実験
• 熱真空試験
• 高度テスト
• 真空脱ガスチャンバー
• 高出力・超短パルスレーザーの研究開発
• イオン加速
• RGA（残留ガス分析装置）
• ヘリウム雰囲気中で溶接された密閉デバイスのヘリウムリークテスト
• 医薬品パッケージの漏れ検出
• 分光法
• 分子イオントラップ
• クライオスタット真空チャンバー
• ビームライン

真空キューブのポンピング性能

いくつかの理想的な真空キューブ構成のポンプダウン曲線が、以下のグラフに示されています。 6x6x6 インチのキューブ 1 つを、大気圧から 1x10 ^-5 Torr まで 2.5 分で、1x10 ^-6 Torr 未満まで約 15 分でポンプダウンできます。 (曲線グラフ 1 を参照)
これは、110 リットル/分 (3.3 cfm) のドライ スクロール真空ポンプを備えた 68 リットル/秒のターボ分子ポンプを使用して実現されました。

また、人気の高い Agilent Varian IDP-3 および SH-110 ドライスクロールポンプの粗引きポンプダウン曲線も提供しています。6x6x6 キューブは、IDP-3 (2.1 cfm) の場合は 1 分未満で 300 mTorr のベース圧力に達し、Agilent Varian SH-110 (3.3 cfm) の場合は約 2 分で 50 mTorr に達します。(曲線グラフ 2 を表示)

特別なリクエストに応じて、レーザー研究や光学アプリケーションでの散乱光の吸収を助けるために、完全に陽極酸化されたプレートを提供することができます。陽極酸化されたコンポーネントは、むき出しのアルミニウム金属表面ほど速くポンプダウンしません。（曲線グラフ 3 を参照） 陽極酸化プレートを備えた単一の 6x6x6 では、1x10 ^-5 Torr に達するまでに 1 時間のポンピングが必要でした。