理想的な真空キューブ表示窓プレート アセンブリ 6x6 真空チャンバー 3/8 インチ溶融石英用

この理想的な真空キューブ 6x6 インチ真空チャンバー溶融石英ビューイング ウィンドウ プレート アセンブリは、当社の 6x6x6 または 6x6x12 モジュラー キューブ チャンバーに適合するように設計されています。

溶融石英窓ビューイング プレート アセンブリは、光学的透明性の向上、可視範囲を超えた拡張波長透過率が必要な場合、およびコストが重要な場合の実験によく選択されます。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度、最小限のインクルージョンと気泡レベルを実現します。 Heraeus TSC-3 と比較して、これらのウィンドウは透過率が向上し、標準のガラスよりも有効波長範囲が広くなります。屈折率変化が少ない、熱膨張係数が低いなどの特徴があります。溶融石英は、プラズマ エッチングおよび堆積システムなどの半導体アプリケーションに使用され、低アルカリおよび低アルミニウム含有量が指定されている場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が必要とされる可視および近～中赤外線波長の透過光学系によく使用されます。溶融石英には 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融石英に似ていますが、それほど強力ではありません。 270 nm 領域に吸収があるため、UV 作業には適していません。

Ideal Vacuum はプレミアム ウィンドウ製品として溶融シリカに移行しているため、溶融石英の在庫は限られていることに注意してください。また、溶融石英ウィンドウには、誤って溶融シリカ部品番号がラベル付けされている場合があることにも注意してください。販売請求書を確認することで、窓の材質を確認できます。

標準的な低鉄強化ガラスまたは溶融シリカを使用した Cube ウィンドウ プレート アセンブリおよび交換用ウィンドウ ガラスも提供しています。強化ガラスは、粗加工または高真空チャンバープロセスの一般的な直接観察に一般的に使用され、チャンバーコンポーネントの光学的位置合わせを容易にしたり、流体の脱気を観察したり、直接観察によって真空内プロセスを指導したりするために使用できます。ガラス材質は標準的な低鉄フロートガラスです。表面品質と平坦度は ASTM 1036-06 および 1048-04 に基づく Q4 です。ガラスの鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになります。この経済的なガラスは、可視波長以下または近赤外 (NIR) 波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度溶融シリカ交換ウィンドウは、両面とも光学グレードに研削および研磨されており、全厚さ変動 (TTV) は 10μm 未満、表面仕上げは S/D 40/20、表面粗さは Ra < 1 nm です。これらの窓は、標準のガラスよりも透過率が大幅に向上し、有効波長範囲が広くなります。特徴としては、非常に低い屈折率変化、低い複屈折値、および超低い熱膨張係数が挙げられます。溶融シリカは、高いレーザー損傷閾値が必要な透過光学系に使用されます。溶融シリカは、深紫外、可視、および近赤外の波長範囲で動作する光学部品に使用されます。


当社の Cube 表示窓は、金属とガラスの接触がゼロの革新的な設計を採用しており、厚さ 3/8 インチの窓ガラスをアルミニウム製取り付けプレートに固定します。このクッション付きウィンドウ取り付けシステムはオペレーターの安全を確保し、高い真空圧でも他のビューポート ウィンドウ構成よりも漏れが発生しにくくなっています。 Ideal Vacuum Cube ウィンドウは完全に組み立てられた状態で納品され、Viton O リングとテフロン スペーサーを使用します。ベークアウト温度は 150 °C まで許容されます。

ビューイング ウィンドウ プレート アセンブリは他の Cube プレートと交換可能であり、いつでも Ideal Vacuum Cube システムに追加できます。観察窓は、キューブ チャンバー上の固定側またはドア (オプションのヒンジ アセンブリおよびハードウェア キットP106868を使用) として実装できます。

ビューイング ウィンドウ プレート アセンブリは、当社の他のすべての Cube プレートと同様、当社の特許取得済みのテーパーシール技術を使用して構築されており、真空シール面への損傷を防ぐ傾斜シール機能が組み込まれています。 Ideal Vacuum Cube プレートはすべて、軽量 6061-T6 アルミニウム合金の単一ブロックから CNC フライス加工されています。

出荷前に、すべてのビューイング ウィンドウ プレート アセンブリはウィンドウ メディアの欠陥がないか目視検査され、ヘリウム リーク テスト、洗浄および密閉が行われ、正しく安全に動作し、納品後すぐに設置できる状態であることを確認します。

注:すべての表示ウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱う必要があり、使用前に必ず検査してください。理想的な真空観察窓は真空専用に設計および定格されており、急激な温度変化 (>10°C/分) にさらされると熱衝撃を受けやすくなります。窓を通してレーザー光線を照射する場合は、レーザーの波長が窓の材質を適切に透過できることを確認してください。 IVP Cube Viewing Window Assembly Manual をダウンロードして、安全上の警告をすべてお読みください。

理想的な真空キューブの紹介

当社の Ideal Vacuum Cube はモジュール式の高真空チャンバー システムであり、真空チャンバー システム構築における創造性と設計の柔軟性を可能にするように考案されています。キューブはさまざまな形状や構成に積み重ねることができ、交換可能なプレートにより接続、窓、フィードスルー用のさまざまな機能が提供されます。プレートには標準の 1 インチ光学パターンに 1/4 インチ -20 の取り付けネジがあり、ヒンジ、ポスト、マウント、レンズ、偏光子、その他のアクセサリを簡単に接続できます。

耐久性と多用途性

Ideal Vacuum Cubes は、大きな内寸とオープンなデザインにより、多くの真空チャンバーの用途や実験に最適です。真空キューブは軽量の 6061-T6 アルミニウム合金で作られているため、ラボ内で簡単に移動したり、光学テーブルに取り付けることができます (重いステンレス鋼の真空チャンバーとは異なります)。特許出願中のシール保護設計、ステンレス鋼のネジ山インサート、および粉体塗装された外板仕上げにより、バキューム キューブは最も要求の厳しい使用にも耐えられる耐久性の高いツールとなっています。

技術的な詳細

特許取得済みのチャンバーシステム

当社の Ideal Vacuum Cube は、テーパーシール技術を特徴とする特許取得済みの設計を採用しています。作業面に設置すると損傷しやすい他の真空フランジ設計 (Conflat CF、KF/NW、ISO-LF (ラージ フランジ) など) とは異なり、当社のテーパーシール設計は重要なシール エッジや O リングを衝撃から保護します。損傷や汚染の原因となる可能性があります。

革新的なチャンバー構成要素

理想的な真空キューブは簡単に積み重ねることができ、複雑でありながら軽量な真空システムを構築できます (下の図を参照)。各真空キューブの外縁には、キューブ同士を簡単に接続できるようにハードウェア取り付けソケットが付いています。キューブ カップリング キットには、2 つのキューブを接続するために必要なハードウェアが含まれています。これにより、科学者は実験室で長いまたは奇妙な形状の真空システムを創造的に構築することができます。

構成可能なプレートとアクセサリ

Vacuum Cube は、多くのオプションを備えたさまざまなプレートとウィンドウで構成できます。真空キューブには、電力、熱電対温度測定、光学レーザー光または画像検出器、ガス供給、または熱/冷却再循環ライン用の流体の流れ用のフィードスルーを取り付けることができます。互換性のある標準フランジ スタイルには、KF-16、KF-25、KF-40、KF-50、ISO-63、conlfat CF 2.75、CF 3.375、CF 4.5 インチ フランジ ポートが含まれます。観察窓も利用でき、ご要望に応じてカスタムプレートも製造できます。オプションのヒンジ キットを注文すると、あらゆるプレートを操作可能なドアに変換できます。

理想的な真空キューブの用途

当社の理想的な真空キューブは、レーザー研究用途に迅速に設置できるように光学研究室にうまく実装できるように設計されています。以下の図は、6x6x18 インチの Ideal Vacuum Cube チャンバーを使用したレーザー分光実験室セットアップ、キャビティ リング ダウン分光法 (CRDS) 真空チャンバー システムの例を示しています。弊社の Ideal Vacuum Cube はモジュール式設計なので、次のような多くの真空チャンバー用途に適しています。

• 真空紫外（VUV）装置と実験
• 熱真空試験
• 高度試験
• 真空脱泡室
• 高出力および超短パルスレーザーの研究開発
• イオン加速
• RGA (残留ガス分析計)
• ヘリウム雰囲気中で溶接されたハーメチックシールされたデバイスのヘリウムリークテスト
• 医薬品包装の漏れ検出
• 分光法
• 分子イオントラップ
• クライオスタット真空チャンバー
• ビームライン

真空キューブの排気性能

いくつかの理想的な真空キューブ構成のポンプダウン曲線を以下のグラフに示します。単一の 6x6x6 インチの立方体は、大気中から 2.5 分で 1x10 ^-5トールまで、約 15 分で 1x10 ^-6トール未満まで排気できます。 (曲線のグラフィック 1 を表示)
これは、110 リットル/分 (3.3 cfm) のドライ スクロール真空ポンプを備えた 68 リットル/秒のターボ分子ポンプを使用して達成されました。

また、人気の Agilent Varian IDP-3 および SH-110 ドライ スクロール ポンプの粗引きポンプ ダウン曲線も提供しています。 6x6x6 Cube は、IDP-3 の場合は 1 分未満のポンピングで 300 mTorr (2.1 cfm) のベース圧力に達し、Agilent Varian SH-110 の場合は約 2 分で 50 mTorr (3.3 cfm) のベース圧力に達します。 (曲線のグラフィック 2 を表示)

特別なご要望に応じて、レーザー研究や光学用途における散乱光の吸収を助ける完全に陽極酸化されたプレートを提供することもできます。陽極酸化されたコンポーネントは、裸のアルミニウム金属表面ほど速くポンプダウンしません。 (曲線のグラフィック 3 を表示) 陽極酸化プレートを備えた単一の 6x6x6 では、1x10 ^-5 Torr に達するまでに 1 時間のポンピングが必要でした。