IVP デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラー、MKS Baratron ゲージ用 USB、LCD 読み出し、2 つのセットポイント付き。 Ideal Vacuum Products (IVP) XGC-520 デュアル キャパシタンス マノメーター ゲージ コントローラーは、最大 2 つのキャパシタンス ダイアフラム ゲージの圧力読み取りを行うための安価なソリューションです。この IVP 専用コントローラは、シンプルなユーザー制御と容易なシステム統合を実現するインテリジェントに設計された機能により精度が向上します。このコントローラは、MKS の人気の Baratron® 静電容量ダイヤフラム ゲージの 626D、627H、および 722C シリーズと接続するように設計されており、20 mTorr (2 x 10-4 Torr) から 10,000 mTorr までのフルスケールの絶対真空/圧力範囲を読み取ることができます。トル (1x104 トル)。これらのゲージは絶対圧力を測定するため、ガスの種類や組成に依存しません。ルックアップ テーブルと変換係数は必要ありません。このユニットには 2 つのアナログ出力リレーがあり、それぞれを 2 つのゲージ チャンネルのいずれかに割り当て、設定値に達したときに通電するようにプログラムできます。この柔軟性により、ユーザーは適切な補助ポンプ圧力に達したときのバルブの作動やターボ分子ポンプの通電などの自動化タスクを簡単に設定できます。デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラーは、ベンチトップまたはラック パネルに取り付けるためのコンパクトな 1/8 DIN 押出アルミニウム エンクロージャに収納されています。鮮やかなブルーの LCD ディスプレイは読みやすく、重要なシステムとコントローラーの情報が一目でわかります。直感的なフロントパネルのメンブレンスイッチインターフェイスにより、ユーザーはすべてのパラメータに素早くアクセスして調整できます。リモート通信と制御は、RS-232 シリアル ターミナル ソフトウェアによって実現されます。接続は、背面に取り付けられた DB15 コネクタまたは USB-B コネクタを介して行われます。さまざまなセンサーおよびシリアル ケーブルが利用可能です。コントローラには、100 ～ 240 VAC、50/60 Hz の入力を受け入れるユニバーサル電源が内蔵されています。長さ 2 メートル (6 フィート) の 115 VAC 入力電源コード (US プラグ 5-15P to C13 コネクタ付き) が付属しています。特徴: 最大 2 つの容量性ダイアフラム センサー ゲージ (CDG) を制御します。 すべての人気のある MKS 626D、627H、および 722C シリーズの Baratron センサー ゲージとのインターフェイス (加熱または非加熱)、フルスケール測定範囲は 20 mTorr ～ 10,000 Torr です。構成に依存しない - ルックアップ テーブルや変換係数は不要 ベンチトップまたはラック パネルに取り付けるためのコンパクトな 1/8-DIN エンクロージャ 鮮やかなブルーの LCD 読み出しディスプレイ 直感的なインターフェイスにより、パラメータを迅速かつ簡単に設定可能 他の機器の自動制御のための 2 つのセットポイント出力リレー ユーザーが選択可能な圧力各ゲージの単位 (Torr、mTorr、mBar、Pa) DB9 および USB-B ポートを介したリモート制御用のシリアル通信 利用可能なケーブルとアダプタ: P102063 センサー ケーブル、2 つのゲージを DCM に接続、10 フィート、DB9 -M を 2 つに接続DB15-F P102061 センサー ケーブル、2 つのゲージを DCM に接続、10 フィート DB9-M から 2 つの DB9-F P1011364 シリアル ケーブル、リモート コンピュータを DCM に接続、10 フィート、DB15-M から DB9-F に接続 P1012796 USB ケーブル、接続リモート コンピュータから DCM、10 フィートの USB-A から USB-B P1012800 DB15-M から端子台ブレークアウトまで、リレーと RS232 ケーブルを分岐する完全な情報については、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。

理想的な真空 XactGauge デュアル静電容量圧力計コントローラー電源ケーブル、C13 から NEMA 5-15P 8 フィート。付属品: 電源ケーブルのみ これは、理想的な真空デュアル キャパシタンス マノメーター コントローラー (DCM) 用の電源ケーブルです。 C13 - 5-15P ケーブルで、長さは 8 フィートです。 Ideal Vacuum Products のデュアル静電容量圧力計ゲージ リーダーおよびコントローラーは、静電容量ダイアフラム ゲージ (CDG) と接続するためのシンプルで直感的かつ低コストの方法です。 DCM は 2 つのゲージと接続でき、多くの CDG に必要な最大 1 アンペアの電流で必要な二重極性、±15 VDC を供給できます。各チャンネルにはプログラム可能な設定値があり、設定値に到達するとリレーを制御します。これにより、粗引きポンプが圧力を適切な範囲に下げたときにターボメキュラーポンプをオンにしたり、バルブを作動させたりするなど、多くのタスクが自動化されます。 DCM は、20 mTorr、50 mTorr、0.1 Torr、1 Torr、2 Torr、10 Torr、100 Torr、1,000 Torr、5,000 Torr、および 10,000 Torr の容量ゲージを含むさまざまな CDG 範囲を読み取ることができます。 DCM を使用すると、ユーザーは好みの圧力単位を選択できます。これらの設定は、読みやすい鮮やかな LCD 画面を備えた使いやすいローカル インターフェイスを通じて設定できます。デュアル静電容量圧力計は、DB9 または USB ポートを介してシリアル コマンドを通じてリモートで使用することもできます。これにより、データ収集と真空システムへの統合が容易になります。デュアル静電容量圧力計は、以下を含む MKS の Baratron™ 絶対静電容量圧力計と互換性があります。 MKS 626B 0.1 Torr - P103249 MKS 626B 1 Torr - P103250 MKS 626B 10 Torr - P103251 MKS 626B 100 Torr - P104361 MKS 626B 1000 Torr - P104362 MKS 626C 10トル - P108076 MKS 626C 1000 トル - P109768 MKS 626C 100 トル - P109769

XGC-520 および MKS PDR2000 コントローラー用 IVP ケーブル、デュアルセンサー Y ケーブル、DB9M から 2 つの DB15F まで、CB2000S-1-M1 と同等。これは、Ideal Vacuum XGC-520 デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラー (P1010127) および MKS PDR2000 (P102062) 用のデュアル センサー ケーブルです。コントローラーを DB15 ピン配列を持つ最大 2 つの Baratron センサーに接続します。この Y スプリッタ ケーブルの一方の端にはコントローラに接続する DB9 オス コネクタがあり、もう一方の端には 2 つの DB15 メス コネクタがあります。このケーブルは Ideal Vacuum によって製造されており、MKS 部品番号 CB2000S-1-M1 の直接の代替品です。このケーブルは、15 ピン オス コネクタを備えた Baratron モデル 127、128、626、627、628 または 722 シリーズ センサーと互換性があります。これらのケーブルの長さは 10 フィートです。

XGC-520 および MKS PDR2000 コントローラー用 IVP ケーブル、デュアル センサー Y ケーブル、DB9M から 2 つの DB9F、CB2000S-2-M1 の代替品、10 フィート。これは、Ideal Vacuum XGC-520 デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラー用のデュアル センサー ケーブルです ( P1010127) と MKS PDR2000 (P102062)。 DB9 ピン配列を持つ最大 2 つの Baratron センサーにコントローラーを接続します。この Y スプリッター ケーブルの一方の端にはコントローラーに接続する DB9 オス コネクタがあり、もう一方の端には 2 つの DB9 メス コネクタがあります。このケーブルは Ideal Vacuum によって製造されており、MKS 部品番号 CB2000S-2-M1 の直接の代替品です。このケーブルは、9 ピン オス コネクタを備えた Baratron 722、750、850、または 852 シリーズ センサーと互換性があります。これらのケーブルの長さは 10 フィートです。

USB 2.0 ケーブル A オス - B オス、デュアル静電容量圧力計からコンピュータへのシリアル接続用、10 フィート。この長さ 10 フィートの USB-A オス - USB-B オス ケーブルを使用すると、IVP デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラー (P1010127) をコンピューターに接続し、RS-232 シリアル コマンド経由で制御できます。金メッキ接点を備えたこのケーブルを使用すると、デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラーには USB (B) シリアル ポートが組み込まれているため、ユーザーは DB9 から USB へのアダプターを不要にすることができます。シリアル接続とリモート通信の詳細については、ダウンロードにあるデュアル キャパシタンス マノメーター ゲージ コントローラー ユーザー マニュアルを参照してください。

RS232 D-Sub 15 ピン オス - ターミナル ブロック ブレークアウト ボード アダプター、デュアル静電容量圧力計ゲージ コントローラー I/O リレーおよび通信用。この D-Sub 15 ピン オス コネクタ - ブレークアウト ボード アダプタは、IVP デュアル キャパシタンス マノメータ ゲージ コントローラの背面にある I/O コネクタに接続します。このアダプタを使用すると、コントローラに組み込まれている 2 つのリレーを個別に配線し、コントローラの柔軟な設定値プログラミングを使用して真空システムを自動化できます。このブレークアウト ボード アダプタを使用すると、D-Sub 15 I/O コネクタからシリアル通信リードを接続することもできます。このアダプターには金メッキの接点と、ワイヤーを適切にシールドするための全金属製シュラウドが付いています。 4 つの異なる直径のストレイン リリーフ グロメットも付属しています。

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空フィッティング KF-16、PN 626D.1TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D.1TDE を持つ MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D01TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D01TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 10 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D11TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D11TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 100 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16。 MKS 部品番号: 626D12TDE。 MKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D12TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 626D 1000 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、真空継手 KF-16、PN 626D13TDE。 MKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16 真空フランジ接続を備え、MKS 部品番号 626D13TDE の MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます