Edwards iXM 200 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 A56106958 Edwards iXM 200은 친환경 제조를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능을 통해 iXM은 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장, CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공합니다. Edwards iXM 200 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인으로 설계되었으며 소음과 진동이 매우 낮습니다. iXM은 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 높은 건식 펌프입니다. iXM은 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXM 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서는 옆에 있는 다운로드를 참조하세요. 특징 및 이점: 주로 깨끗하고 가벼운 화학 응용 분야에 사용(아래 응용 분야 스펙트럼 참조) 최고 펌핑 속도 200m3/h-1(118CFM) 최종 압력 1.5 X 10-2 Torr 1차 펌프만 포함 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8 인치 빠른 연결 물 충전물 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 수냉 시스템 가변 모드 가스 모듈 응용 분야: 로드 록 전송 기상학 리소그래피 물리적 기상 증착 PVD 공정 물리적 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards iXM 600 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 A56126958 Edwards iXM 600은 친환경 제조를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능을 통해 iXM은 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장, CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공합니다. Edwards iXM 600 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인으로 소음과 진동이 매우 낮으며 iXM은 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 높은 건식 펌프입니다. iXM은 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXM 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서는 옆에 있는 다운로드를 참조하세요. 특징 및 이점: 주로 깨끗하고 가벼운 화학 응용 분야에 사용(아래 응용 분야 스펙트럼 참조) 최대 펌핑 속도 600m3/h-1(353CFM) 최종 압력 3.75 X 10-3Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8인치 Quick Connect Water 충진 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 수냉 시스템 가변 모드 가스 모듈 응용 분야: 로드 록 전송 기상학 리소그래피 물리 기상 증착 PVD 공정 물리 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards iXM 1200 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 A56146958 Edwards iXM 1200은 친환경 제조를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능을 통해 iXM은 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장, CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공합니다. Edwards iXM 1200 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인으로 소음과 진동이 매우 낮으며 iXM은 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 높은 건식 펌프입니다. iXM은 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXM 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서는 옆에 있는 다운로드를 참조하세요. 특징 및 이점: 주로 깨끗하고 가벼운 화학 응용 분야에 사용(아래 응용 분야 스펙트럼 참조) 최대 펌핑 속도 1030m3/h-1(606CFM) 최종 압력 5.0 X 10-3Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8인치 Quick Connect Water 충진 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 수냉 시스템 가변 모드 가스 모듈 응용 분야: 로드 록 전송 기상학 리소그래피 물리 기상 증착 PVD 공정 물리 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards GX, iGX, iXH, iXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널, 5Way, XLR 플러그, 휴대용 키패드 디스플레이 모듈. Edwards 부품 번호: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널 5방향 XLR 플러그. 5방향 XLR 연결이 가능한 Edwards GX, iGX 및 iXL120 시리즈 건식 펌프 시스템용 휴대용 디스플레이. Edwards 진공 부품 번호 D37280700.

Edwards SPI Micro TIM 모듈D37360310SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards MCM Micro TIM 모듈D37360320MCM MicroTIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards MCM 도구 인터페이스를 제공합니다. MCM Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 GXS 시리즈(MCM 버전만) CXS 시리즈(MCM 버전만) 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 GXS 및 CXS 시리즈 펌프와 AUC 호환됩니다. iH iTIM D37422000 - MCM과 동일합니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards TEL Micro TIM 모듈D37360330TEL Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards TEL 도구 인터페이스를 제공합니다. TEL Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Semi E73 Micro TIM 모듈D37360340Semi E73 Micro TIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Semi E73 호환 도구 인터페이스를 제공합니다. Semi E73 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Semi E73 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards LAM Alliance Micro TIM 모듈D37360350LAM Alliance MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 LAM Alliance 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. LAM Alliance Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. LAM Alliance Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Novellus C3 Micro TIM 모듈D37360360Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Novellus C3 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Hitachi Micro TIM 모듈D37360370Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블. Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). . 문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.