Edwards iXH 100 HARSH 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 AC010A121000. Edwards iXH 100은 친환경 제조 및 까다로운 화학 공정 처리를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능은 iXH가 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장을 제공하고 특히 HARSH Chemicals의 CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공한다는 것을 의미합니다. Edwards iXH 100 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인과 매우 낮은 소음 및 진동이 결합되어 iXH를 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 뛰어난 화학 건식 펌프로 만들어줍니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXH 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 성능 향상을 위한 부스터 블로워 펌프가 없습니다. 전체 사용 설명서는 다운로드를 참조하세요.특징 및 이점: 주로 위험한 화학 응용 분야에 사용 최대 펌핑 속도 100m3/h-1(59CFM) 최종 압력 1.5 X 10-2Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 기본 펌프만 포함 3/8인치 Quick 물 충전물 연결 물 및 전원 연결 결합 반쪽 SS 수냉 시스템 다중 모드 44slm 가스 모듈애플리케이션: 로드록 전송 기상학 리소그래피 물리적 기상 증착 PVD 공정 물리적 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards iXH 610 HARSH 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 AC110A121100. Edwards iXH 610은 친환경 제조 및 까다로운 화학 공정 처리를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능은 iXH가 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장을 제공하고 특히 HARSH Chemicals의 CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공한다는 것을 의미합니다. Edwards iXH 610 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인과 매우 낮은 소음 및 진동이 결합되어 iXH를 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 뛰어난 화학 건식 펌프로 만들어줍니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXH 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서를 보려면 다운로드를 참조하세요. 특징 및 이점: 주로 위험한 화학 응용 분야에 사용 최대 펌핑 속도 665m3/h-1(391CFM) 최종 압력 3.7 X 10-3Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8인치 빠른 연결 물 충전물 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 물 냉각 시스템 다중 모드 44 slm 가스 모듈 애플리케이션: 로드 록 이송 기상학 리소그래피 물리 기상 증착 PVD 공정 물리 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards iXH 1210H HARSH 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 AC3A0A122200 Edwards iXH 1210H는 친환경 제조 및 까다로운 화학 공정 처리를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 파우더 처리 기능은 iXH가 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장을 제공하고 특히 HARSH Chemicals의 CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공한다는 것을 의미합니다. Edwards iXH 1210H 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인으로 설계되었으며 소음과 진동이 매우 낮습니다. iXH는 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 뛰어난 화학 건식 펌프입니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXH 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서는 측면에 있는 다운로드를 참조하세요.특징 및 이점: 주로 거친 화학 응용 분야에 적합 최대 펌핑 속도 1025m3/h-1(603CFM) 최종 압력 5.0 X 10-3Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8인치 빠른 연결 물 충전물 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 수냉 시스템 다중 모드 44slm 가스 모듈 애플리케이션: 로드록 전송 기상학 리소그래피 물리적 기상 증착 PVD 공정 물리적 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards iXH 1220H HARSH 건식 진공 펌프 200-230VAC 50/60hz 3ph. Edwards 부품 번호 AC3B0A122200 Edwards iXH 1220H는 친환경 제조 및 까다로운 화학 공정 처리를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하여 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮은 1.3kW로 극적으로 줄여 환경에 미치는 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다. 가스 배리어 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 내식성이 4배 향상되었습니다. 고급 분말 처리 기능은 iXH가 다층 식각 공정에 대해 최대의 신뢰성과 펌프 수명 연장을 제공하고 특히 HARSH Chemicals의 CVD 공정에 대한 전력 소비 감소를 제공한다는 것을 의미합니다. Edwards iXH 1220H 시리즈 펌프는 컴팩트하고 가벼운 디자인과 매우 낮은 소음 및 진동이 결합되어 iXH를 Edwards 제품군 중 가장 다용도가 뛰어난 화학 건식 펌프로 만들어줍니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대치를 변화시키고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 실질적인 이점과 가동 시간 증가를 제공합니다. iXH 펌프는 입력 전력을 크게 줄이면서 대부분의 반도체 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 전체 사용 설명서는 옆에 있는 다운로드를 참조하세요.특징 및 이점: 주로 거친 화학 응용 분야에 적합 최대 펌핑 속도 1200m3/h-1(645CFM) 최종 압력 3.7 X 10-3 Torr 예방적 유지 관리가 필요하지 않음 3/8인치 빠른 연결 물 충전물 물 및 전원 연결 결합 절반 SS 수냉 시스템 다중 모드 44slm 가스 모듈 응용 분야: 로드 록 전송 기상학 리소그래피 물리적 기상 증착 PVD 공정 물리적 기상 증착 PVD 사전 세척 급속 열 어닐링 RTA 스트립/애싱 에칭 임플란트 소스 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD 급속 열 처리 RTP 대기압 이하 화학 기상 증착 SACVD 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD 변형 화학 기상 증착 MCVD 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD 저압 화학 기상 증착 LPCVD

Edwards GX, iGX, iXH, iXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널, 5Way, XLR 플러그, 휴대용 키패드 디스플레이 모듈. Edwards 부품 번호: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널 5방향 XLR 플러그. 5방향 XLR 연결이 가능한 Edwards GX, iGX 및 iXL120 시리즈 건식 펌프 시스템용 휴대용 디스플레이. Edwards 진공 부품 번호 D37280700.

Edwards LAM Alliance Micro TIM 모듈D37360350LAM Alliance MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 LAM Alliance 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. LAM Alliance Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. LAM Alliance Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards SPI Micro TIM 모듈D37360310SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards MCM Micro TIM 모듈D37360320MCM MicroTIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards MCM 도구 인터페이스를 제공합니다. MCM Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 GXS 시리즈(MCM 버전만) CXS 시리즈(MCM 버전만) 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 GXS 및 CXS 시리즈 펌프와 AUC 호환됩니다. iH iTIM D37422000 - MCM과 동일합니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards TEL Micro TIM 모듈D37360330TEL Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards TEL 도구 인터페이스를 제공합니다. TEL Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Semi E73 Micro TIM 모듈D37360340Semi E73 Micro TIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Semi E73 호환 도구 인터페이스를 제공합니다. Semi E73 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Semi E73 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Novellus C3 Micro TIM 모듈D37360360Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Novellus C3 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Hitachi Micro TIM 모듈D37360370Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

iXH 진공 펌프용 전원 케이블을 만드는 데 사용되는 Edwards 전원 커넥터 키트. 이는 Edwards iXH 시리즈 반도체 진공 펌프용 입력 주 전원 케이블을 만드는 Edwards iXH 건식 반도체 펌프 플러그 키트입니다. iXH100, iXH610, iXH1210H, iXH1220H 및 기타 모델과 함께 작동합니다.

전원 케이블을 만드는 데 사용되는 Edwards iXH 입력 전원 커넥터. Edwards 부품 번호: D37480075 이것은 Edwards iXH 건식 반도체 펌프 입력 전원 커넥터로, 입력 주 전원 케이블을 만드는 데 사용할 수 있습니다. iXH100, iXH610 및 기타 모델과 함께 작동합니다. Edwards 부품 번호: D37480075.

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블. Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). . 문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.