Bomba de vácuo seco Edwards iXL120N, 200-460 VCA, conexão de purga de nitrogênio, personalizada, conexão de água de desconexão rápida 3/8 QC adicionada. Número da peça Edwards: A54114010. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Verde permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente! O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120N Recursos e benefícios: Rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem operação suave e com baixa vibração, sem necessidade de manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite roteamento foreline eficiente e opções de localização O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante períodos ociosos Líder da classe o tempo de inatividade da bomba da câmara reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35 °C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50 /60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC, conexão de água 3/8 QC. Compacto, pequeno e leve. Número da peça Edwards A54113010. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC Conexão de água seca 1/4 QC. Compacto, pequeno e leve. Número da peça Edwards A54113020. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC acessórios de água. Compacto, pequeno e leve. Número de peça Edwards A54113610. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC acessórios de água. Compacto, pequeno e leve. Número da peça Edwards A54113710. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando a instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC acessórios de água com válvula de controle de fluxo. Número da peça Edwards A54113011. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC acessórios de água com válvula de controle de fluxo. Número da peça Edwards A54113221. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC acessórios de água com válvula de controle de fluxo. Número da peça Edwards A54113611. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC acessórios de água com válvula de controle de fluxo. Número da peça Edwards A54113711. A XL120 é uma bomba seca compacta e de baixo consumo de energia de 110 m3h-1 para manuseio de wafers e outras aplicações limpas. Ele fornece bombeamento rápido de câmaras de bloqueio de carga com consumo de energia extremamente baixo. A iXL120 é uma das bombas menores e mais leves disponíveis para aplicações limpas e de bloqueio de carga. Sua baixa vibração e baixos níveis de ruído o tornam ideal para montagem em ferramentas ou dentro de um piso waffle de uma fábrica, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica. Um Modo Ecológico permite reduzir o uso de serviços públicos durante períodos ociosos, reduzindo os custos dos serviços públicos e ajudando a salvar o meio ambiente. O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total de ciclo (TACT) O consumo de energia de apenas 0,55 kW ajuda a minimizar o custo de propriedade do cliente O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O fornecimento de água até 35oC ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação Extremamente pequenos e leves, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O arranjo exclusivo de entrada dupla permite opções eficientes de roteamento e localização da linha externa A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando instalação e custos operacionais Edwards iXL120 Recursos e benefícios: A opção de purga zero de nitrogênio elimina a necessidade de fornecimento de nitrogênio, economizando custos de instalação e operação Os rolamentos de precisão lubrificados a óleo garantem uma operação suave e com baixa vibração, sem manutenção de rotina O exclusivo arranjo de entrada dupla permite roteamento e localização eficientes da linha externa opções O Modo Verde pode reduzir o consumo de energia em até 92% durante os períodos de inatividade O tempo de inatividade da bomba da câmara líder da categoria reduz o tempo médio total do ciclo (TACT) O abastecimento de água até 35°C ajuda a reduzir os requisitos de água de resfriamento da instalação O consumo de energia de apenas 0,55 kW1 ajuda a minimizar o cliente custo de propriedade Uma única variante cobre a faixa de tensão de alimentação de 200-460 V, 50/60 Hz Extremamente pequeno e leve, ajudando a economizar espaço valioso na fábrica

Bomba de vácuo seco Edwards iXL600N. 200-460 V 50/60 Hz Alimentação Trifásica. 600 m3h-1 Velocidade Máxima de Bombeamento. Inclui: 3/8 conexões de água de conexão rápida. Edwards PN: A54134010 O iXL600N é uma combinação de bomba seca e sistema de reforço. Os sistemas são para uso em aplicações leves e a variante N é equipada com um módulo de gás que fornece gás de purga de nitrogênio para as áreas do mecanismo da bomba. O estator, o motor e os acionamentos do inversor são resfriados a água. Os sistemas de bombeamento podem ser controlados pelo painel frontal, um acessório PDT ou pela ferramenta via MicroTIM. Os sistemas de bomba seca destinam-se ao uso em bloqueio de carga e aplicações leves. Aplicações comuns incluem bloqueio de carga, transferência, metrologia, litografia, processo PVD e pré-limpeza PVD.

Terminal de exibição de bombas Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vias, plugue XLR, módulo de exibição de teclado portátil. Número da peça Edwards: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Terminal de exibição da bomba Plugue XLR de 5 vias. Visor portátil para sistemas de bombas secas das séries Edwards GX, iGX e iXL120 com conexão XLR de 5 vias. Número da peça de vácuo Edwards D37280700.

Módulo Edwards SPI Micro TIMD37360310O módulo SPI Micro TIM fornece interface de ferramenta Edwards SPI para bombas secas com um slot Micro TIM. Um módulo SPI Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O SPI Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Módulo Edwards MCM Micro TIMD37360320MCM O módulo MicroTIM fornece interface de ferramenta Edwards MCM para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo MCM Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando uma interface digital paralela. O MCM Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Série GXS (somente versão MCM) Série CXS (somente versão MCM) Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Por exemplo, uma bomba pode ser atualizada de iH para iHs sem alterar o módulo de interface. O MCM Micro TIM tem compatibilidade AUC com as bombas das séries GXS e CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Módulo Edwards TEL Micro TIMD37360330TEL O módulo Micro TIM fornece interface de ferramenta Edwards TEL para bombas secas com um slot Micro TIM. Um módulo TEL Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O TEL Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Semi E73 Micro TIM ModuleD37360340Semi E73 Micro TIM module fornece interface de ferramenta compatível com Semi E73 para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Semi E73 Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Semi E73 Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM fornece uma interface de ferramenta para plataformas LAM Alliance para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo LAM Alliance Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O LAM Alliance Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Novellus C3 Micro TIM ModuleD37360360Novellus C3 Micro TIM fornece uma interface de ferramenta para plataformas Novellus C3 para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Novellus C3 Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Novellus C3 Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM fornece interface de ferramenta Hitachi para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Hitachi Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Hitachi Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Plugue da bomba de semicondutor seco Edwards iXL usado para fazer o cabo de alimentação para bombas de vácuo da série iXL. Este é um kit de plugue de bomba de semicondutor seco Edwards iXL para fazer o cabo de alimentação de entrada para bombas de vácuo de semicondutores da série Edwards iXL. Funciona com iXL120 e outros modelos.

Cabo EMO da Edwards para instalação de uma nova bomba semicondutora seca de estilo iXL ou iXH em uma ferramenta com bombas existentes de estilo antigo da série iH. A Ideal Vacuum fornece nosso próprio cabo de interface, que permite a substituição de uma bomba de estilo antigo da série iH pelo estilo IXL120N, iXH100 ou iXH610. Esse cabeamento EMO é útil para aplicações em que uma ferramenta de semicondutor possui várias bombas iH de estilo antigo conectadas à subfabricação. Este cabo do módulo de interface continua o circuito EMO nas bombas iH de estilo antigo remanescentes e através da bomba de substituição iXL120N de estilo novo. As conexões e diferentes módulos de interface são descritos em detalhes abaixo. Este cabo é normalmente conectado de P2 (saída) do iTIM no lado esquerdo iH, ao conector de parada de emergência (EMS) no iXL120N, ao J1 (entrada) do iTIM na bomba iH do lado direito (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação em formato pdf) . A questão é que as bombas da série Edwards iH foram descontinuadas e não estão mais disponíveis. A Ideal Vacuum estoca as bombas de reposição, iXL120N para bloqueio de carga, iXH100 (substitui iH80), iXH610 (substitui iH600) e assim por diante. A nova bomba iXL120N não tem um botão EMO na frente como as bombas IH de estilo antigo (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação). O Edwards iTIM era frequentemente configurado com bombas de vácuo de semicondutores secos da série Edwards iH de estilo antigo, onde várias bombas são conectadas a uma única ferramenta de semicondutor na sub-fabricação. O cabeamento EMO é configurado para desligar a ferramenta se um EMO for pressionado em qualquer uma das bombas da série iH, eles são normalmente cabeados em série, em uma configuração em cadeia.