理想真空 3 位 UHV 气动闸阀,节流 3 位,带电磁阀和簧片传感器,24VDC,CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰,Viton O 型圈标准密封,1x10 -10 mbar,SUS304 阀体,50,000 次循环
CF 10.0 英寸螺栓固定法兰,带 5/16-24 UNF 螺纹这款理想真空 3 位节流闸阀采用 Conflat CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰气动操作。它具有第 3 个位置,可设置为部分打开。它适用于超高真空 (UHV),配有用于闸阀的标准 Viton O 形环密封件和用于阀盖的 Viton O 形环或 OFHC 铜垫圈,并配有气动控制电磁阀。这些阀门在需要维修之前的典型使用寿命为 50,000 次循环。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸阀和阀体制成。这种 3 位控制提供了灵活性和精确性,可保持各种真空沉积工艺的最佳条件,特别是在薄膜沉积工艺室系统中。
在物理气相沉积镀膜室中的应用这种 3 位闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计,通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。它在节流真空工艺(如 PVD 磁控溅射沉积)中的使用越来越广泛。在 PVD 涂层室(例如溅射系统)中,3 位闸阀通常用于控制涡轮分子泵和主工艺室之间的连接。这些闸阀可精确控制真空系统,并可隔离泵、保护室并调节抽气速度。典型的 3 位闸阀的三个位置是:
1. 完全打开位置:最大电导率,最大涡轮抽气速度,用于初始抽空或在沉积过程中维持高真空。
2. 部分打开(节流位置):目的:在部分打开的位置,闸阀仅部分打开,从而节流腔室和涡轮泵之间的电导。当使用反应性气体(例如,反应溅射中的氧气或氮气)或当您需要微调压力以实现最佳薄膜生长时,节流非常重要。
此部分打开的位置在安装过程中手动设置并调整一次,并且可以随时更改以运行不同的工艺条件。
3. 完全关闭位置:用途:在完全关闭的位置,闸阀将涡轮泵与主腔完全隔离。用例:此位置用于在腔体排气、负载锁腔样品加载等过程中或腔体暴露于大气压力时保护涡轮泵。它可防止污染物或大气进入涡轮泵,从而防止其损坏。
规格:规格和特点:- 材料
- 身体
- 运输
- 联动型-SUS304
- 球型尺寸 10” 以下 - SUS304
- 球型尺寸 10 英寸以上(含) - SUS304、A6061-T6
- 门
- 联动型-SUS304
- 球型尺寸 10” 以下 - SUS304
- 球型尺寸 10 英寸以上(含)- A6061-T6
- 波纹管
- 生命周期
- HV :DN200 - 300,000 次循环
- 超高真空:DN200 - 50,000 次循环
- 1 个大气压差下的氦气泄漏率
- O 形圈 <2×10 -9 mbar·l /sec
- 垫片密封 <5×10 -10 mbar·l /sec
- 烘烤温度
- 开放式 - 200 °C Viton 阀盖密封件
- 关闭 - 150 °C Viton 阀盖密封
- 压力范围 (mbar)
- 高压:1× 10-8 ~1000
- 特高真空:1x10 -10 ~1000
- 最大压差(毫巴)
- 标准密封
- 门 - Viton O 型圈
- 阀盖 - Viton O 型圈或 OFHC 铜垫片
- 执行器 - 气动
- 压缩空气供应
- 管接头 - 6mm
- 压力范围 - 4-6 Kg/cm2(过压)
- 表面处理 - 苏格兰抛光
- 选项
- 位置指示器
- 气控电磁阀
- 粗加工端口
- 其他材质闸门O型圈密封件
请参阅下载内容以获取有关此闸阀和其他相关阀门配置的更多信息。