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理想真空 3 位 UHV 气动闸阀,节流 3 位,带电磁阀和簧片传感器,24VDC,CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰,Viton O 型圈标准密封,SUS304 阀体

健康)状况:
  新的
零件号:
  P1013694
保修单:
  Against Product Defect

缺货   

销售: NT$188,558.00

理想真空 3 位 UHV 气动闸阀,节流 3 位,带电磁阀和簧片传感器,24VDC,CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰,Viton O 型圈标准密封,SUS304 阀体 188558
货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

理想真空 3 位 UHV 气动闸阀,节流 3 位,带电磁阀和簧片传感器,24VDC,CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰,Viton O 型圈标准密封,1x10 -10 mbar,SUS304 阀体,50,000 次循环
CF 10.0 英寸螺栓固定法兰,带 5/16-24 UNF 螺纹

这款理想真空 3 位节流闸阀采用 Conflat CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰气动操作。它具有第 3 个位置,可设置为部分打开。它适用于超高真空 (UHV),配有用于闸阀的标准 Viton O 形环密封件和用于阀盖的 Viton O 形环或 OFHC 铜垫圈,并配有气动控制电磁阀。这些阀门在需要维修之前的典型使用寿命为 50,000 次循环。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸阀和阀体制成。这种 3 位控制提供了灵活性和精确性,可保持各种真空沉积工艺的最佳条件,特别是在薄膜沉积工艺室系统中。

在物理气相沉积镀膜室中的应用
这种 3 位闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计,通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。它在节流真空工艺(如 PVD 磁控溅射沉积)中的使用越来越广泛。在 PVD 涂层室(例如溅射系统)中,3 位闸阀通常用于控制涡轮分子泵和主工艺室之间的连接。这些闸阀可精确控制真空系统,并可隔离泵、保护室并调节抽气速度。典型的 3 位闸阀的三个位置是:

1. 完全打开位置:
最大电导率,最大涡轮抽气速度,用于初始抽空或在沉积过程中维持高真空。

2. 部分打开(节流位置):
目的:在部分打开的位置,闸阀仅部分打开,从而节流腔室和涡轮泵之间的电导。当使用反应性气体(例如,反应溅射中的氧气或氮气)或当您需要微调压力以实现最佳薄膜生长时,节流非常重要。

此部分打开的位置在安装过程中手动设置并调整一次,并且可以随时更改以运行不同的工艺条件。

3. 完全关闭位置:
用途:在完全关闭的位置,闸阀将涡轮泵与主腔完全隔离。用例:此位置用于在腔体排气、负载锁腔样品加载等过程中或腔体暴露于大气压力时保护涡轮泵。它可防止污染物或大气进入涡轮泵,从而防止其损坏。

规格:
规格和特点:
  • 材料
      • 身体
          • SUS304
      • 运输
          • 联动型-SUS304
          • 球型尺寸 10” 以下 - SUS304
          • 球型尺寸 10 英寸以上(含) - SUS304、A6061-T6
          • 联动型-SUS304
          • 球型尺寸 10” 以下 - SUS304
          • 球型尺寸 10 英寸以上(含)- A6061-T6
      • 波纹管
          • AM350
  • 生命周期
      • HV :DN200 - 300,000 次循环
      • 超高真空:DN200 - 50,000 次循环
  • 1 个大气压差下的氦气泄漏率
      • O 形圈 <2×10 -9 mbar·l /sec
      • 垫片密封 <5×10 -10 mbar·l /sec
  • 烘烤温度
      • 开放式 - 200 °C Viton 阀盖密封件
      • 关闭 - 150 °C Viton 阀盖密封
  • 压力范围 (mbar)
      • 高压:1× 10-8 ~1000
      • 特高真空:1x10 -10 ~1000
  • 最大压差(毫巴)
      • 开幕前 < 30
  • 标准密封
      • 门 - Viton O 型圈
      • 阀盖 - Viton O 型圈或 OFHC 铜垫片
  • 执行器 - 气动
  • 压缩空气供应
  • 管接头 - 6mm
  • 压力范围 - 4-6 Kg/cm2(过压)
  • 表面处理 - 苏格兰抛光
  • 选项
      • 位置指示器
      • 气控电磁阀
      • 粗加工端口
      • 其他材质闸门O型圈密封件


请参阅下载内容以获取有关此闸阀和其他相关阀门配置的更多信息。

宣传册


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联系我们
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

电话: (505) 872-0037
传真: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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