Agilent Varian 531 热电偶真空压力表模拟器和参比管。
安捷伦瓦里安部件号 L7383301
这是 Agilent Varian 531 热电偶真空计模拟器和参比管。这有助于测试或校准仪表控制器时使用。它模拟 2.0 Torr 压力和 1 × 10-3 torr。参考管永久密封,内部真空,压力 <=5 × 10-6 Torr。
热电偶真空压力表,作者:Wikipedia.org
热导率计依赖于气体导热能力随压力降低的事实。在这种类型的压力表中,通过电流流过灯丝来加热灯丝。然后可以使用热电偶或电阻温度检测器 (RTD) 来测量灯丝的温度。该温度取决于灯丝向周围气体散失热量的速率,因此也取决于热导率。一种常见的变体是皮拉尼真空计,它使用单根铂丝作为加热元件和 RTD。这些压力计的准确度范围为 20 Torr 至 10-3 Torr(取决于所购买的传感器和控制器的型号)。然而,它们对被测气体的化学成分敏感,被称为相对压力测量方法,即它们根据气体介质的导热性能间接确定压力。