Agilent Varian IDP-15 IDP15 干式涡旋真空泵，带集成隔离阀，1 相，部件号：X3815-64010

安捷伦瓦里安 IDP-15 干式涡旋真空泵设计用于极其安静的 < 50 dBA 和低振动运行，可在 60 Hz 频率下提供 9.4 cfm (15.4 m3/h) 的峰值抽速，并产生 10 mTorr 的极限压力。这些新型 Agilent IDP-15 干式涡旋泵采用气密密封，适用于稀有气体和氦气 3He 再循环应用。真空空间与电机和轴承完全隔离的密封设计提供了通过泵的清洁气体路径，从而消除了任何油或油脂污染的风险。 IDP-15 的这些关键设计元素允许电机和轴承在大气压下运行，从而使它们不会暴露于应用中的任何真空工艺气体或水蒸气。 Agilent IDP-15 支持全球单相电机，工作电压范围为 100-120V 或 200-230 VAC（50/60Hz），并包含一个易于操作的简单开关，可在高电压和低电压使用之间进行切换。

该 IDP-15 型号（安捷伦科技部件号 X3815-64010）包含集成入口隔离阀。隔离阀安装在模块内部，不会增加泵入口的高度。当 IDP-15 断电时，它可以防止空气通过涡旋泵入口向后迁移。该隔离阀可防止客户的腔室或仪器在系统断电时突然排气。隔离阀机构包含一个弹簧，可保持入口阀常闭；泵中的较低压力用于压缩弹簧并保持入口隔离阀打开。断电时，电磁阀打开并对真空泵排气，导致入口隔离阀关闭，关闭时间通常为 20 毫秒。当电源恢复时，电磁阀关闭，真空泵内部开始抽真空，约10秒后进口隔离阀重新打开。

高真空泵，例如涡轮分子泵，越来越多地与干式前级泵技术结合使用。基于涡旋技术的泵已成为后级涡轮分子高真空泵的首选干泵技术。有几个因素使安捷伦瓦里安 IDP-15 涡旋技术成为卓越的干泵选择，包括清洁、可预测的性能、较低的振动和噪音以及较长的使用寿命。

现代 Agilent IDP-15 涡旋技术基于平稳的轨道运行，气体压缩和排放的真空泵循环发生最小的脉动和非常低的振动。根据应用的不同，振动可能会产生一些不利影响，并可能导致使用额外的组件，例如隔振器。新型 Agilent IDP-15 是各种振动影响因素应用中的首选干泵。

当前的涡旋技术和顶部密封设计是共同作用的因素，以提供较低的基础压力，并在使用寿命内逐渐增加基础压力。基础压力的逐渐增加允许在真空变得不可接受之前进行维护并减少计划外停机时间。像 Agilent IDP-15 这样的典型涡旋泵将达到 10 mTorr 的基础压力。

这些 Agilent IDP-15 干式涡旋泵使用简单的双涡旋机构产生真空，其中一个嵌套涡旋围绕另一个涡旋旋转，形成捕获气体的移动区域。气体从外周进入涡旋组，并向轮毂中心移动和压缩，并在中心排出。简单的双涡旋设计具有许多优点，包括较低的噪音和振动水平、简单且不频繁的维护要求，以及消除灾难性故障模式。

这些新的安捷伦科技 IDP-15 包括改进的固体尖端密封件，可延长尖端密封件的使用寿命和更长的维修间隔。固体顶部密封材料在可冷凝蒸汽应用中表现良好。 IDP-15 的端部密封件更换比以往任何时候都更加容易。所需要的只是简单的工具、平头螺丝刀、4 和 5 毫米内六角扳手、异丙醇、不起毛的抹布以及部件号 X3815-67000 的端部密封套件。请参阅使用手册第 24 - 30 页了解顶部密封件更换程序。新型 Agilent IDP-15 密封干涡旋真空泵的 PDF 格式说明手册和小册子可在下面的下载部分下载。