Agilent Varian TriScroll 600 替换轨道垫片。安捷伦瓦里安部件号:S4829001。这是用于 TriScroll 600 干涡旋真空泵的安捷伦瓦里安 OEM 替换轨道间隔环。第三张图片中显示的第 2 部分(以黄色突出显示)。
如果遵守维护程序和间隔,TriScroll 600 系列泵可提供多年无故障服务。当泵底压上升到您的应用无法接受的高水平时,建议补充轴承润滑脂并更换顶部密封件。如果泵的轴承发出嗡嗡声或研磨噪音,也应更换轴承、旋转密封件和 O 形圈。如果您的应用需要泵送大量水蒸气,主轴承寿命可能会缩短。使用轴承吹扫可以防止水影响轴承寿命。