Agilent Varian TwisTorr 404 FS 涡轮分子真空泵,配有 Conflat CF 6 英寸入口法兰,抽速 380 L/S。
需要冷却套件,Agilent Varian 部件号 X3511-64021。这些 Agilent Varian TwisTorr 404 FS 涡轮分子真空泵为风冷式,配有 Conflat CF 6 英寸入口法兰,并配备带专利 TwisTorr 拖动级的安捷伦浮动悬架。这些 Agilent Varian TwisTorr 404 FS 涡轮分子高真空泵具有全新的改进性能,包括新设计的迷宫式 Twistorr 拖动级技术和安捷伦浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比,以提供高吞吐量和高前级压力耐受性,从而允许使用更小、更经济的前级泵。 Agilent Varian TwisTorr 404 FS 涡轮泵采用扁平进气口,是真正的超高真空 (UHV) 泵,正确使用时极限压力可低至 1x10-10 Torr,例如,这些泵的 Conflat 版本允许进气法兰烘烤温度高达 120 摄氏度。所需的风扇空气冷却套件单独出售。
该技术实现了紧凑的转子设计,既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统 (AFS) 可降低噪音和振动,并确保最佳的轴承工作条件,从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。独特的陶瓷球轴承具有永久润滑功能,无需加油和维护,并允许泵在任何方向运行。这些 TwisTorr 404 FS 涡轮泵需要冷却套件(风扇强制风冷或水冷)以及外侧远程机架安装或板载泵侧安装控制器,所有这些均由 Ideal Vacuum 单独出售。
安捷伦涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计,包括泵送系统和多流泵的集成。尺寸紧凑的泵可满足对空间要求严格的行业的需求。这些新型 Agilent TwisTorr 404 FS 涡轮泵只需极少的维护甚至无需维护,并可防止误用。这些泵经过了各种质量和可靠性测试,包括:长寿命、冲击、振动、包装、热和噪音。
配备 Conflat CF 6 英寸入口法兰的 Agilent Varian TwistTorr 404 FS 涡轮泵的氮气抽速为 380 l/s,采用 KF-25 前级法兰,环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这些 404 FS 泵的启动时间为 3 分钟,转速高达 49500 rpm。推荐的前级泵为干式 IDP-10、IDP-15 或湿式 DS-302。当环境空气温度为 5 至 35 °C 时,冷却要求最低为强制风冷,或水冷,水温为 15 至 25 °C,流量为 100 l/h,水压最大为 75 psi。
新型 Agilent Twistorr 404 FS 兼具性能和功能,适合广泛的应用。它是一种用途非常广泛的涡轮机,可用于多种领域:
典型的涡轮泵应用包括:- 质谱
- 气相色谱质谱 (GC/MS)
- 液相色谱质谱法 (LC/MS)
- 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
- 飞行时间质谱 (TOF)
真空研发:- 高能物理
- 融合技术
- 一般特高压研究
- 同步加速器光源 粒子加速器
纳米技术仪器:- 电子显微镜
- 扫描电子显微镜 (SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM)
- 聚焦离子束系统 (FIB)
- 表面分析
- 半导体制造
工业真空处理:- 薄膜沉积
- 玻璃镀膜设备(建筑和汽车玻璃、平板显示器)
- 薄膜太阳能电池生产(光伏)
- 光学数据介质(CD、DVD、磁光盘)
- 磁性存储介质
- 表面处理
- 光学镀膜(眼科、精密光电)
- 薄膜或箔片上的卷筒/卷筒涂层
设备处理:- 电视及显示器显像管制造
- 灯的疏散(高速公路照明、光束灯)
- X 射线管和电子设备
一般流程: