Agilent Varian TwisTorr 74-FS 经济可靠的涡轮分子真空泵,配有 Conflat CF 4.5 英寸进样口、60 L/S 抽速。
需要冷却套件,Agilent Varian 部件号 PN:X3502-64172。这些 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 涡轮分子真空泵具有 Conflat CF 4.5 英寸入口法兰,抽速为 60 L/S,并具有带专利 TwisTorr 拖动级的安捷伦浮动悬架。 74 FS 型号是一款可靠的紧凑型涡轮泵,其 1167 Hz 驱动频率可延长轴承寿命,是一款适合高真空应用的经济可靠的泵。它们具有改进的性能,包括新设计的迷宫式 Twistorr 拖动平台技术、安捷伦浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。该技术实现了紧凑的转子设计,既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统 (AFS) 可降低噪音和振动,并确保最佳的轴承工作条件,从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。独特的陶瓷球轴承具有永久润滑功能,无需加油和维护,并允许泵在任何方向运行。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比,以提供高吞吐量和高前级压力耐受性,从而允许使用更小、更经济的前级泵。 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 涡轮泵采用扁平进气口,是真正的超高真空 (UHV) 泵,正确使用时极限压力可低至 3.75x10-10 Torr,例如,这些泵的 Conflat 版本允许进气法兰要烘烤至 120 摄氏度。这些 TwisTorr 74-FS 涡轮泵需要外侧远程机架安装或机载泵侧安装控制器。所需的涡轮泵冷却套件(风扇强制风冷或水冷)单独出售。
这些 Agilent Varian TwistTorr 74 FS 涡轮泵具有 Conflat CF 4.5 英寸入口法兰,氮气抽速为 60 l/s,KF-16 前级法兰,环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C 。这些 74 FS 涡轮泵的启动时间不到 2 分钟,转速为 70,000 rpm,推荐使用干式涡旋(IDP-3 或 IDP7)或油封旋转叶片(DS-40M 或 DS)的前级低真空泵。 -102)。强制风冷的冷却要求是环境空气温度为 5 至 35 °C,而水冷的冷却要求是最小流量为 0.30 gpm、15 至 25 °C、压力为 45 至 75 psi。
新型 Agilent Twistorr 74 FS 兼具性能和功能,适合广泛的应用。它是一种用途非常广泛的涡轮泵,可用于多种领域:
典型的涡轮泵应用包括:- 质谱
- 气相色谱质谱 (GC/MS)
- 液相色谱质谱法 (LC/MS)
- 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
- 飞行时间质谱 (TOF)
真空研发:- 高能物理
- 融合技术
- 一般特高压研究
- 同步加速器光源 粒子加速器
纳米技术仪器:- 电子显微镜
- 扫描电子显微镜 (SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM)
- 聚焦离子束系统 (FIB)
- 表面分析
- 半导体制造
工业真空处理:薄膜沉积:- 玻璃镀膜设备(建筑和汽车玻璃、平板显示器)
- 薄膜太阳能电池生产(光伏)
- 光学数据介质(CD、DVD、磁光盘)
- 磁性存储介质
- 表面处理
- 光学镀膜(眼科、精密光电)
- 薄膜或箔片上的卷筒/卷筒涂层
设备处理:- 电视及显示器显像管制造
- 灯的疏散(高速公路照明、光束灯)
- X 射线管和电子设备
一般流程: