Agilent Varian TwisTorr 84-FS 涡轮分子真空泵,带 KF-40 进样口,49 L/S 抽速,适用于 UHV 应用。
需要冷却套件,Agilent Varian 部件号 X3502-64001。这些 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 涡轮分子真空泵具有 KF-40 入口法兰,抽速为 49 L/S。 84 FS 涡轮泵是 74 FS 的增压版本,其 1350 Hz 超频驱动频率可将抽速提高 10%,使其成为超高真空 (UHV) 专用泵。对于大多数一般高真空 (HV) 应用,Ideal Vacuum 建议使用更经济可靠的 74 FS 涡轮泵型号。这些增强型 Agilent 84 FS 涡轮泵可为氢气和氦气等轻质气体提供更高的压缩比,从而提高吞吐量并达到最低极限压力。这些 Agilent Varian 84 FS 涡轮分子高真空泵具有 KF-40 入口法兰,极限压力为 1x10-8 Torr(受到入口 KF 定心环中橡胶 O 形圈密封件排气的限制),并具有安捷伦瓦里安部件号 X3502-64001。 Conflat 版本配备全金属密封的 Conflat 进气垫圈,是真正的超高真空泵,正确使用时极限压力可低至 3.75x10-10 Torr。这些 TwisTorr 84-FS 涡轮泵需要冷却套件(风扇强制风冷或水冷)以及外侧远程机架安装或板载泵侧安装控制器,所有这些均由 Ideal Vacuum 单独出售。
这些 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 涡轮泵配有 KF-40 入口法兰、氮气抽速为 49 l/s、KF-16 前级法兰,环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这些 84 FS 涡轮泵的启动时间不到 2 分钟,转速为 81,000 rpm,推荐使用干式涡旋(IDP-3 或 IDP7)或油封旋转叶片(DS-40M 或 DS)的前级低真空泵-102)。强制风冷的冷却要求是环境空气温度为 5 至 35 °C,而水冷的冷却要求是最小流量为 0.30 gpm、15 至 25 °C、压力为 45 至 75 psi。
新型 Agilent Twistorr 84 FS 兼具性能和功能,适合各种 UHV 应用。它可用于多种领域:
典型的涡轮泵应用包括:- 质谱
- 气相色谱质谱法 (GC/MS)
- 液相色谱质谱 (LC/MS)
- 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
- 飞行时间质谱 (TOF)
真空研发:- 高能物理
- 融合技术
- 一般特高压研究
- 同步加速器光源 粒子加速器
纳米技术仪器:- 电子显微镜
- 扫描电子显微镜 (SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM)
- 聚焦离子束系统 (FIB)
- 表面分析
- 半导体制造
工业真空处理:薄膜沉积:- 玻璃镀膜设备(建筑和汽车玻璃、平板显示器)
- 薄膜太阳能电池生产(光伏)
- 光学数据介质(CD、DVD、磁光盘)
- 磁性存储介质
- 表面处理
- 光学镀膜(眼科、精密光电)
- 薄膜或箔片上的卷筒/卷筒涂层
设备处理:- 电视及显示器显像管制造
- 灯的疏散(高速公路照明、光束灯)
- X 射线管和电子设备
一般流程: