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Agilent Varian VHS-6 水冷扩散泵 ASA 6，外径 11 英寸，标准冷帽，120V 2200W，85826301

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Agilent Varian VHS-6 水冷扩散泵 ASA 6，外径 11 英寸，标准冷帽，120V 2200W，85826301

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零件号：

P102157

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描述

Agilent Varian VHS-6 水冷扩散泵 ASA 6，外径 11 英寸，标准冷帽，120V 2200W Agilent Varian 部件号 85826301

Agilent Varian VHS-6 专为满足需要高抽速和空间限制而需要紧凑型泵的应用的特殊需求而设计。 VHS-6 泵是一款坚固耐用的通用装置，工作范围为 2 x 10-3 至 <5 x 10-9 Torr。 Agilent Varian VHS-6 具有高抽气速度（最大额定值为 2400 l/s）以及高前级耐压（空载时为 0.65 Torr，满气体负载时为 0.55 Torr），因此非常适合需要快速循环的应用。。该装置的回流速率为1x10-4 mg/cm ² /分钟，不使用任何冷却的冷帽。

该 Agilent Varian VHS-6 扩散泵包括：

6 英寸 ASA 入口法兰（11 英寸外径法兰，8 个光滑螺栓孔，0.81 英寸直径孔）
1 1/2 英寸 ASA 出口前级法兰
标准冷帽
2400 l/s 最大抽速空气
120 VAC @ 2200 瓦加热器
设计用于与 Santovac 5 扩散泵油一起使用

扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导至泵底部并从出口流出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。 Agilent Varian VHS-6 可以抽气至 <5x10-9 Torr 的压力。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵、低真空泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。

这些安捷伦瓦里安扩散泵非常可靠、设计简单且运行时无噪音或振动。扩散泵仍然是产生高真空压力的最经济的手段。扩散泵还可以承受过量颗粒和反应气体等操作条件，这些条件会破坏其他类型的高真空泵。它们可以与单相 115、208、240 VAC 加热器线束以及标准或扩展冷帽一起订购。我们库存并销售适用于该泵的 Santovac 5 扩散泵油。请参阅下面的“相关”部分，了解可能有利于您的真空应用和维护需求的其他附件。我们提供各种真空润滑脂、油、真空配件、软管、真空计、传感器/转换器、零件和配件，在本网站上单独出售。

这些 Agilent Varian VHS-6 扩散泵具有 ASA 6 英寸入口法兰，采用单相 120 VAC、标准冷帽运行，并具有 Agilent Varian 部件号 85826301。Agilent Varian VHS-6 扩散泵用户说明手册可以 PDF 格式下载格式如下。这些是典型的库存商品，通常在下订单的当天发货。

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STEP

Agilent Varian VHS4 VHS6 & VHS250 扩散真空泵.pdf

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宣传册

Specifications
Specification	Value
Pumping Speed, Operating Range	1500 l/s air, 1,930 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed	2,400 l/s air w/standard cold cap; 950 w/extended cold cap
Maximum Throughput	2.4 T-l/s (3.2 mbar-l/s) in operating range, 3.5 T-l/s (4.5 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range	1.5x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr (2.10 x 10⁻³ < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure	No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar) Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump	≥ 17 cfm (29 m³/hr)
Backstreaming Rate	< 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time	10 minutes
Cooldown Time	10 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge	500 cc - exact fluid charge available
Electrical Requirements	1 ph, 50/60 Hz, 120/208/240 VAC
Pump Power	2,200 Watts
Cooling Water Requirements	0.25 gpm (50 l/h) at 60-80 °F (15-26 °C)
Water Connections	⅛ in. FPT Tee

VHS-6 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description	Part No.	Item
Standard Cold Cap Assembly	86488301	1
Extended Cold Cap Assembly	F6455001	2
Sight Glass Repair Kit consisting of:	L8908301	3
Sight Glass	L8816001	5.1
Gasket, Teflon	L9694001	5.1
O-ring, Viton, Parker No. 2-113	CommI	5.1
O-ring, Viton, Parker No. 2-226	CommI	5.1
Jet Assembly	F3365301	4
Splash Baffle	F4780301	5
Foreline Baffle Assembly	L9172301	6
Thermal Switch Includes:	L8912301	7
Switch (set at 300 °F – 147 °C)	642906025	7a
Lug	648056680	7b
Wire	656179100	5.1
Box Insulator	89867001	7d
Heaters (one heater required per pump)		8
120 V / 2200 watt Heater Element	647306125	5.1
208 V / 2200 watt Heater Element	647306175	5.1
240 V / 2200 watt Heater Assembly	647306225	5.1
VHS-4 heater wire, 10 AWG, 24 inches (3 per pump required)	X3901-68001	9
Lugs, Replacement, nickel	648056680	10
Heater Clamping Plate	86086301	11
Heater Insulation	86087001	12
Baffle Retaining Ring	699992156	13
O-Ring Kit includes:	K0377184	14
3 Butyl inlet flange O-ring, Parker No. 2-258		5.1
10 Viton fill and drain O-rings (old style), Parker No. 2-112		5.1
10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113		5.1
1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226		5.1
1 PTFE gasket		5.1
Screw, Rd hd machine, no. 8-32x31/416, stainless steel	Screw	15
Stud, no. 8-32 x 1/2, stainless steel	Stud	16
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel	Screw	17
Centering ring for ISO inlet flange, 160K	IC160SV	18
Centering ring for ISO foreline flange, KF40	KC40SV	19
Santovac 5 diffusion pump fluid, 500 cc	695405005
Installation and Operation Manual	699901021