Bruker DektakXT-A 触针轮廓仪，DXT 表面轮廓测量系统。这款 Bruker DektakXT® 触针轮廓仪是一款先进的触针轮廓仪 (DXT-A)，具有 3D 自动表面映射和分析功能，包括拼接长达 200 毫米的扫描。它采用革命性的台式设计，可实现无与伦比的 4Å 重复性，并将扫描速度提高 40%。此外，它还具有收集精确台阶高度和表面粗糙度测量所需的所有功能。
该 DektakXT-A 系统包括：- Dell OptiPlex PC，搭载 Win10 Pro 操作系统和 Bruker Vision64 软件
- 四个空气隔离脚
- 电动 X/Y 平台，行程 6 英寸，电动 360 度旋转
- 系统标配 2-3、4-6 或 8 英寸真空吸盘
- LIS 3，低惯性传感器，力值为 1 至 15mg
- 3.1M像素彩色摄像头，可选放大倍数
- 入门级触针（选择 2um 或 12.5um）
- 光学平面扫描块，扫描长度为 55 毫米
- 4 Å 台阶高度重复性，1um 台阶为 1 sigma
- 拼接长达 200 毫米的扫描
- 3D 地图收集和大量数据分析
- 自动收集功能，地点数量不受限制
- 1 年有限工厂保修
Dektak XT 设施要求、尺寸、重量和热负荷表 1 列出了 DektakXT 系统的设施要求。表 2 列出了其尺寸、重量和热负荷。力量DXT-110V - 100/115 VAC 操作
配置 100/115 VAC 操作电源。可在美国和使用 100/115 伏标准三脚美国插座的国家/地区使用。
环境外壳DXT-ENC – 包括 DXT 环境外壳。
电脑包括一台来自布鲁克的 64 位台式计算机。Dell OptiPlex、Win10 Pro 操作系统、3.2GHz 处理器、Intel Core i5、4GB (1x4G) 1600MHz DDR3L 内存、500GB 硬盘驱动器，配有 Vision64# 操作和分析软件。
电脑显示器需要一台兼容 VGA 的显示器。显示器必须支持 1920x1080 @ 60HZ 分辨率、包含 DVI-D 端口并兼容 DisplayPort。系统不附带显示器，也不包含在基本价格中。但是，根据要求，可以开具发票并提供一台全新的兼容显示器。
XY 平台DXT-AUTO - 电动 XY 150 X 150MM 平台，
R 平台DXT-R-AUTO - 电动 R-THETA DXT-S/A 样品盘选项DXT-SET-WVC - 晶圆真空吸盘套件 1,620.00 1,620.00
晶圆真空吸盘封装
此晶圆真空吸盘套件包含：2-3 英寸 (838-203)、4-6 英寸 (838-189) 和 8 英寸 (838-195) 晶圆真空吸盘。价格不包括基本系统价格。
入门级触控笔
DXT-STYL-2UM-B - 触针，LIS 3，2UM RAD-TYPE B此款入门级触针配有 2um 半径触针尖，可免费随系统提供，安装后可立即使用。它不包括触针尖的 SEM 图像。
应用包
DXT-STITCH - 拼接功能Vision64#Stitching 功能允许 DXT-A 系统将多个扫描拼接在一起，从而生成一个覆盖 6 英寸（150 毫米）电动行程的无缝扫描。它最适用于硅晶片和类似平整度的样品上的 2D 薄膜应力测量。此 DektakXT 高级系统 (DXT-A) 包含拼接功能。DXT
-3D MAP - 3D 地图和分析功能Vision64 3D 地图功能包括在 DXT-A 高级系统上收集的 3D 地图的实时可视化。3D 地图提供了生成各种尺寸的 3D 数据集的能力，包括使用拼接生成的大型地图。全套 Vision64 3D 分析可通过此功能对数据集进行高级过滤和操作。
DXT-2D 应力 - 2D 应力测量能力Vision64 2D 应力测量能力可同时计算拉伸应力和压缩应力。利用 5 阶多项式拟合和用户可选弹性常数，2D 应力能力可实现精确结果。它可以与拼接能力结合使用，以测量 DXT-Advanced 系统上平面晶圆上的较大区域。订购晶圆真空吸盘的系统包括镀铬滚珠轴承和笔式磁铁。
DXT-AUTOMATION - 自动测量收集Vision64 Automation 功能可自动收集多个位置的线扫描和 3D 地图。操作员只需单击按钮，即可使用自动化配方进行一系列分析。此 DXT-A 标准功能在生产 QA/QC 环境中非常有用，因为此类环境需要在样品的多个位置进行重复测量。
客户安装套件DektakXT 的设计是使用此套件自行安装。我们将提供指导视频，指导客户完成拆包、设置和系统功能的初步验证。我们还提供一组附加视频，指导操作员完成数据收集和分析。这套全面的短视频可让操作员快速熟练掌握 DXT 操作，并可在系统的整个运行寿命期间用作参考。
