Ebara ESR20N 多级干式真空泵，抽气速度 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），清洁至中型工艺，水冷，3 相，200-220V，60Hz。Ebara 零件编号：202093。Ebara ESR 系列（节能罗茨）是多级干式真空泵，专为清洁至中型工艺应用而设计。Ebara ESR 系列涵盖从 45 到 706 CFM 的广泛抽气速度，极限压力低至 1.5 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N 多级干式真空泵，120cfm 2000l/m，清洁至中型工艺，水冷，200-220V/3Ph，PN：202093。应用溅射 PVD 负载锁和传输灰化离子注入机蚀刻清洁气体和工艺 Ebara EV-A 系列干式旋片泵的优势和特点。低拥有成本 [功率、N2、水、占地面积、体积、重量] 在清洁应用中，ESR20N 无需氮气吹扫可变抽速以满足应用要求高性能无刷直流电机最先进的控制和监控设备可采用空闲模式以增加公用设施节省 SEMI S2 评估、NRTL 列出、CE 标志

Ebara ESR20N S2 多级干式真空泵，抽速 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），KF-40，清洁至中型工艺，水冷，3 相，200-220V，60Hz。Ebara 零件编号：202093。Ebara ESR 系列（节能罗茨）是多级干式真空泵，专为从清洁到中型工艺的应用而设计。Ebara ESR 系列涵盖从 45 到 706 CFM 的广泛抽速范围，极限压力低至 1.5 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N S2 多级干式真空泵，清洁至中型工艺，水冷，200-220V / 3Ph，Ebara 零件编号：202093。应用溅射 PVD 负载锁和传输灰化离子注入机蚀刻清洁气体和工艺 Ebara EV-A 系列干式旋片泵的优势和特点。低拥有成本 [功率、S2、水、占地面积、体积、重量] 在清洁应用中，ESR20N 无需氮气吹扫可变抽速以满足应用要求高性能无刷直流电机最先进的控制和监控设备可采用空闲模式以增加公用设施节省 SEMI S2 评估、NRTL 列出、CE 标志

Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵，抽速 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），带加热消声器，清洁至中型工艺，水冷，3 相，200-220V，60Hz。Ebara 零件编号：203537。Ebara ESR 系列（节能罗茨）是多级干式真空泵，专为清洁至中型工艺应用而设计。Ebara ESR 系列涵盖从 35 到 1,625 CFM 的广泛抽速范围，极限压力低至 1 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵，120cfm 2000l/m，带加热消声器，清洁至中型工艺，水冷，200-220V/3Ph，PN：203537。应用溅射 PVD 负载锁和转移灰化离子注入机蚀刻清洁气体和工艺 Ebara EV-A 系列干式旋片泵的优势和特点。低拥有成本 [功率、N2、水、占地面积、体积、重量] 在清洁应用中，ESR20N 不需要氮气吹扫可变抽速以满足应用要求高性能无刷直流电机最先进的控制和监控设备可采用空闲模式以增加公用设施节省 SEMI S2 评估、NRTL 列出、CE 标志