Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵,抽气速度 45 至 70 CFM(1300 - 2000 l/m),带加热消声器,清洁至中型工艺,水冷,3 相,200-220V,60Hz。
Ebara 零件编号:203537。 Ebara ESR 系列(节能罗茨)是多级干式真空泵,专为从清洁到中型工艺的应用而设计。Ebara ESR 系列的抽速范围很广,从 35 到 1,625 CFM,极限压力低至 1 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N-HT 多级干式真空泵,120cfm 2000l/m,带加热消声器,清洁到中型工艺,水冷,200-220V/3Ph,PN:203537。
应用
- 溅射
- 物理气相沉积
- 负载锁和传输
- 灰化
- 离子注入机
- 蚀刻
- 清洁气体和工艺
Ebara EV-A 系列干式旋转叶片泵的优点和特点。
- 低拥有成本(电力、氮气、水、占地面积、体积、重量)
- 在清洁应用中,ESR20N 无需氮气吹扫
- 可变抽速以满足应用要求
- 高性能无刷直流电机
- 最先进的控制和监测设备
- 可以采用空闲模式来节省能源
- 经 SEMI S2 评估、NRTL 认证、CE 标志