Ebara ETC76 控制器与 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵配合使用。 Ebara 零件编号:ETC76。这是 Ebara ETC76 控制器,用于 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵。Ebara EBT70 机械陶瓷轴承复合涡轮分子泵是高效、经济的解决方案,可为您的高真空应用提供清洁可靠的真空生成。EBT70 涡轮泵具有卓越的价值,配备精密陶瓷轴承,可多年无故障运行(更换前超过 30,000 小时)。新型复合设计转子可在高流量或通风条件下承受不频繁的冲击处理。效率提高可提高抽速和气体压缩。这可适应更高的前级压力,使其成为多种应用的理想选择,包括 UHV、移动真空车和分析系统。
Ebara EBT 型号的特点和优点:- 坚固的轴承设计非常适合移动应用
- 高抽速
- 轻质气体的高压缩比
- 快速启动和停止
- 快速排气(无排气脉冲)
- 风扇或水冷(不包括)
- ISO 或 Conflat (CF) 法兰
- 集成控制器(选定型号)
典型的涡轮泵应用包括:- 半导体
- 薄膜
- 光伏
- 质谱
- 分析仪器灯
- 表面处理
- 电子/X射线管
- 离子/EB 源
- 晶圆键合
- 溅射
- 玻璃/薄膜涂层
- 排气车
泵使用说明书和Ebara EBT涡轮泵产品手册可供下载。