这些 Ebara EV-SA 30 系列干式旋转凸轮真空泵采用风冷式,专为轻型干式真空应用而设计。 EV-SA 30 泵干泵具有 120 cfm (3300 L/Min) 的大抽速,具有 KF-40 入口和排气口,在 56 dB (A) 的运行噪音水平下运行非常安静,并且具有无极限压力气镇为 22.5 mTorr(气镇打开时为 37.5 mTorr)。运行功耗低,极限压力下低至 1.1 kW,节省资金。该装置的 Ebara 参考号为 EV-SA30-2,其中包括标准配件,例如垂直排气方向、外部消音器和止回阀,在 1 相 200-240 VAC 上运行,以及用于可选气镇的端口,具有 Ebara 型号EV-SA30-2 和部件号 202653。
Ebara EV-SA30 系列干式真空泵使用简单,只需插入并打开即可(就是这么简单)。它们可以订购为在 1 相 208 VAC 或 3 相 208 VAC 下运行,当前此处出售的部件号 202653 适用于 1 相 208 VAC 泵。 Ebara EV-SA 泵可以在大气压力下连续运行,而不会过热或锁定。 Ebara EV-SA 真空泵结构紧凑,运行时安静。它们包括滚动脚轮,方便在设施内移动。请参阅下面的用户手册和产品手册下载中的附加信息。
Ebara EV-SA 系列干式旋转凸轮泵的优点和特点。
- 最低能耗
- 无需维护
- 运营成本低
- 真空范围宽
- 高盈利能力
- 占地面积最小
应用领域
- 负载锁
- 分析仪器(LCMS 液相色谱-质谱、GCMS 气相色谱质谱)
- 计量 - SEM(扫描电子显微镜)、TEM(透射电子显微镜)
- PVD(物理气相沉积)溅射系统
- 干燥真空炉
- 氧等离子系统
- 湿泵更换
- 涡旋泵更换
- 清洁应用
- 手套箱
- 冻干(冷冻干燥)
- 灭菌器(汽化过氧化氢灭菌器、医疗器械、医院应用真空蒸汽灭菌器)
- 检漏仪
- 光束线和同步加速器
- 高能物理(研究与开发实验室 - 研发)
- 太空模拟室
- 涡轮泵背衬
- 柔性LED视频显示屏制造
- 适用于医疗器械和 PCB 板制造的绝对清洁干燥真空
- 中型,与 PFPE 旋片泵竞争,泵送氧气应用。等离子 O2 CF4