Edwards 250 型水冷排气疏水阀。
爱德华兹零件号:A53114000。 Edwards 250 型水冷排气捕集器可冷却泵中的废气,并使颗粒物收集在捕集器中。这可以防止排气系统中颗粒物的聚集。排气捕集器设计用于连接到使用二氯硅烷或六氯乙硅烷和氨的 LPCVD 氮化工艺中使用的泵。
排气捕集器不适合连接到其他工艺中使用的泵。 Edwards 250 型疏水阀设计用于安装 BOC Edwards CDP 和 QDP 干泵以及 Drystar MKI、MKII 和 QMKII 干泵系统。该系统必须包含一个压力开关,以便在排气系统堵塞时关闭泵。
排气捕集器具有安装在底架上的主外部本体。疏水阀主体高度可以在底架上调节,以适应不同的泵。底架配有便于移动的脚轮和调平脚,以便可以牢固地定位在操作位置。 250 型水冷式排气捕集器的 Edwards 零件号为 A53114000。
Edwards 250 型水冷排气疏水阀规格:- 适合 Edwards 干泵:CDP 和 QDP 干泵以及 Drystar MKI、MKII 和 QMKII 干泵系统
- 材质:疏水阀本体为AIS 304L不锈钢,水冷盘管为铜
- 衬管更换零件号为 A53115020
如需完整规格,请下载说明手册。