Edwards EPX 180LE 高真空主干真空泵 400 VAC 3PH。 3/8 英寸水连接器 ISO 63 入口。部件号 A41943714 - 带 MCM TIM

带有工具接口模块 (TIM) 高真空干泵的新型紧凑型 EPX180LE 可提供增强的性能并降低拥有成本。 EPX180LE 采用独特的专利保护机制，能够从大气中泵送至低于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。这些是真正令人惊叹的泵； Edwards EPX 泵可以从大气抽气到涡轮分子压力范围，并且可以在所有入口压力下连续运行。模块化 EPX180 基于屡获殊荣的 IPX 系列，提供出色的性能，其封装比 IPX 轻 20%，小 30%，所需功耗低 40%。 EPX LE 系列泵配有最终用户控制器 (EUC)。最终用户控制器可实现独立使用的本地控制，并能够连接到晶圆厂范围内的网络以进行远程控制和监控。 EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下运行，泵室中没有润滑或密封液。这确保了泵送系统的清洁，而油或液体不会回流到被抽空的系统中。 EPX 180LE 是已停产的 EPX 180NE 型号（零件号为 A41944712）以及已停产的零件号 A41944714 的良好替代选择。

泵的定子和封闭式电机由集成水冷却回路冷却。因此，EPX 泵适用于无法接受风扇冷却的洁净室环境中的应用。冷却水供回水管道通过水接头（客户指定）与泵连接。冷却水必须与环境条件（湿度和温度）相适应，以免达到露点。该泵配有 EMC 电源滤波器和逆变器驱动器，为泵电机提供并控制电源。前盖上的 LED 指示灯可识别 EPX 泵的状态。电机速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力等于或接近大气压的情况下启动时，电机加速到由逆变器驱动器提供的电流限制的速度。随着入口压力降低，电机速度增加，直到最终达到预设的最大速度。如果入口处的压力增加，电机将再次减速。

EPX LE 系列泵可使用最终用户控制 (EUC) 本地显示屏和键盘进行手动操作，或使用泵显示终端 (PDT)（如果安装）进行远程操作；它还可以通过网络进行控制和监控，网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当 EPX LE 系列泵通过工具接口模块 (TIM) 进行控制时，EUC 仅监控泵的状态。 EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。EPX 有四个隔振器。如果出现故障，泵保护传感器会自动关闭泵。 EPX 系列涵盖了从晶圆处理到中型工艺的广泛应用。 EPX“LE”系列设计用于泵送惰性气体混合物的洁净负荷应用，例如负载锁，其中控制由工艺工具接口提供。下载说明书到旁边。