Edwards Novellus C3 微型 TIM 模块
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Novellus C3 Micro TIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了与 Novellus C3 平台的工具接口。 Novellus C3 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 Novellus C3 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。
- EPX系列
- iGX系列
- GX系列
- iXH系列
- iXL系列
- 也适用于带有系统控制器的多泵系统。
如果这些模块已经存在,则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。
检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf,了解并行连接输入和兼容性信息。