Edwards GX100L 干式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。极限压力 Edwards 零件号 A54710958 Edwards GX 干式真空泵系列为大修期间的零维护设定了新标准。效率的提高降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。 GX 干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的持续可用性。 GX 泵具有多种峰值速度和型号，可满足从清洁到中型流程的应用需求。模块化设计允许用户配置 GX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上安装、近距离安装或远程安装。如需了解更多规格和选项，请向下滚动至“可用下载”并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards GX100L 干式半导体真空泵是新款，Edwards 部件号为 A547-10-958 (A54710958)。

Edwards iGX100L 干式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。极限压力 Edwards 零件号 A54610958 Edwards iGX 干式真空泵系列为大修期间的零维护设定了新标准。效率的提高降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。 iGX 干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的持续可用性。 iGX 泵具有多种峰值速度和型号，可满足从清洁到中型流程的应用需求。模块化设计允许用户配置 iGX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上安装、近距离安装或远程安装。如需了解更多规格和选项，请向下滚动至“可用下载”并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards iGX100L 干式半导体真空泵是新款，Edwards 部件号为 A546-10-958 (A54610958)。

Edwards iGX100M 干式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。极限压力 Edwards 零件号 A54612958 Edwards iGX 干式真空泵系列为大修期间的零维护设定了新标准。效率的提高降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。 iGX 干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的持续可用性。 iGX 泵具有多种峰值速度和型号，可满足从清洁到中型流程的应用需求。模块化设计允许用户配置 iGX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上安装、近距离安装或远程安装。如需了解更多规格和选项，请向下滚动至“可用下载”并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards iGX100M 干式半导体真空泵是新款，Edwards 部件号为 A546-12-958 (A54612958)。

全新 Edwards iGX100M 干式真空泵，62 CFM 380-460V 50/60Hz，3.75 mtorr。极限压力 Edwards 零件号 A54612959 Edwards iGX 干式真空泵系列为大修期间的零维护设定了新标准。效率的提高降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。 iGX 干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的持续可用性。 iGX 泵具有多种峰值速度和型号，可满足从清洁到中型流程的应用需求。模块化设计允许用户配置 iGX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上安装、近距离安装或远程安装。如需了解更多规格和选项，请向下滚动至“可用下载”并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards iGX100M 干式半导体真空泵是新款，Edwards 部件号为 A54612959 (A546-12-959)。

Edwards GX、iGX、iXH、iXM 和 iXL 泵显示终端、5Way、XLR 插头、手持式键盘显示模块。 Edwards 零件号：D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM 和 iXL 泵显示终端 5 路 XLR 插头。适用于 Edwards GX、iGX 和 iXL120 系列干泵系统的手持式显示器，具有 5 路 XLR 连接。 Edwards 真空零件号 D37280700。

Edwards GXS 湿法消音器后水平安装套件 该套件不包括 M58808162 消音器组件，仅包括安装套件。这是 Edwards GXS 消音器后水平安装套件。它配备了在 GXS 型号泵后部水平安装 Edwards GXS 湿式工艺消音器所需的一切。仅适合 Edwards 消音器型号 M58808162。

Edwards GX 和 iGX 泵电气插头输入电源连接套件，三相电源，D37370833 这是 Edwards GX 和 iGX 泵电气插头输入电源连接套件，三相电源，Edwards 真空部件号 D37370833。

新型 Edwards iGX 干泵系统 排气外壳套件，用于过程（N 和 M）的止回阀 Edwards PN A507-44-000、A50744000 这是用于排气出口的止回阀套件，可防止排气后的废气被吸回。 Edwards iGX 干泵系统已关闭。该止回阀还为工艺 N 和 M 提供排气压力脉冲的额外衰减。包括排气止回阀、弯头、截留 O 型圈、夹子和绝缘套，适用于 Edwards iGX 干泵 N 和 M 型号，

Edwards GXS 泵湿法排气消音器 有两种类型的消音器用于降低 GXS 泵送系统产生的噪音：湿法排气消音器和干法排气消音器。这是一种湿式工艺排气消音器，由涂漆碳钢制成，设计用于容纳泵处理过程中可能产生的液体或颗粒。湿法消音器应水平安装，而干法消音器应垂直安装。消音器无需拆卸即可排空，如果泵性能下降，则必须进行清洁。它可以安装在侧面或后面的位置。消音器安装套件链接：P108231

Edwards SPI Micro TIM 模块D37360310SPI Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards SPI 工具接口。 SPI Micro TIM 模块可用于通过您的处理工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 SPI Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards MCM Micro TIM 模块D37360320MCM MicroTIM 模块为带 MicroTIM 插槽的干泵提供 Edwards MCM 工具接口。 MCM Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 MCM Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 GXS 系列（仅限 MCM 版本） CXS 系列（仅限 MCM 版本） 如果这些模块已经存在，则它们可用于通过过程工具或其他控制设备提供对泵的控制和监视。例如，泵可以从 iH 升级到 iH，而无需更改接口模块。 MCM Micro TIM 与 GXS 和 CXS 系列泵具有 AUC 兼容性。相当于 iH iTIM D37422000 - MCM。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards TEL Micro TIM 模块D37360330TEL Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards TEL 工具接口。 TEL Micro TIM 模块可用于通过您的过程工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 TEL Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Semi E73 Micro TIM 模块D37360340Semi E73 Micro TIM 模块为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Semi E73 兼容工具接口。 Semi E73 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Semi E73 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards LAM Alliance Micro TIM 模块D37360350LAM Alliance MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了到 LAM Alliance 平台的工具接口。 LAM Alliance Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 LAM Alliance Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Novellus C3 Micro TIM 模块D37360360Novellus C3 Micro TIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了 Novellus C3 平台的工具接口。 Novellus C3 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Novellus C3 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Hitachi Micro TIM 模块D37360370Hitachi MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Hitachi 工具接口。 Hitachi Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Hitachi Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards EMO 电缆，用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。 Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆，可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路，穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2（输出）连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器，再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1（输入）（详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明） 。问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100（替换 iH80）、iXH610（替换 iH600）等。与旧式 IH 泵不同，新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮（请参阅我们的应用说明中的详细信息）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常采用菊花链配置串联布线。