Edwards iGX100M 干式真空泵,62 CFM 200-230V 50/60Hz,3.75 mtorr。极限压力
Edwards 零件号 A54612958 Edwards iGX 干式真空泵系列为大修之间的零维护树立了新标准。效率的提高降低了拥有成本,并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。 iGX 干泵包括以太网连接,允许通过网页查看关键数据,以及一套全面的网络选项,以确保泵的持续可用性。 iGX 泵具有多种峰值速度和型号,可满足从清洁到中型流程的应用需求。模块化设计允许用户配置 iGX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项,包括工具上安装、近距离安装或远程安装。如需了解更多规格和选项,请向下滚动至“可用下载”并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards iGX100M 干式半导体真空泵是新款,Edwards 部件号为 A546-12-958 (A54612958)。