描述
Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 气体模块质量流量计 3810 - 60 L/MIN 替换件。
Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 干式半导体真空泵具有 II 系列气体模块,可为真空泵提供氮气流量。需要这些氮气流来净化泵的各个部分并为干轴密封件提供冷却。随着这些泵的老化,气体模块内的质量流量控制器可能会出现故障。我们的替换质量流量控制器 3810 设计为新的校准替换零件的掉落。它们使气体模块再生,以便为真空泵提供正确的流量。
Ideal Vacuum 为所有 Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 干式半导体泵提供重建服务,并提供所有鼓风机组合。请联系我们获取 iQDP 泵或 iQDP 气体模块重建服务 - 505-872-0037。