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Edwards iXH 1210H HARSH 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相部件号 AC3A0A122200

健康)状况:
  新的
零件号:
  P1011393
保修单:
  Full Manufacturer's Warranty

缺货   

NT$1,664,739.57

在 销售: NT$1,248,554.68

Edwards iXH 1210H HARSH 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相部件号 AC3A0A122200 1248554.68
货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

Edwards iXH 1210H HARSH 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相
Edwards 零件号 AC3A0A122200


Edwards iXH 1210H 是一个新型干泵系列,专为绿色制造和严酷化学工艺的加工而设计。使用非常低的能源,开发出高效罗茨机构,可将输入功率大幅降低至 1.3 kW,比上一代干泵低 60%,从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性能比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXH 将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性并延长泵的使用寿命,并降低 CVD 工艺的功耗,尤其是使用 HARSH 化学品时。

Edwards iXH 1210H 系列泵结构紧凑、重量轻,噪音和振动极低,使 iXH 成为 Edwards 系列中用途最广泛的化学干泵。 iXH 将改变您对干式真空泵技术的期望,提供真正的好处并增加正常运行时间,同时对环境影响最小。 iXH 泵设计用于大多数半导体工艺,同时显着降低输入功率。有关完整的说明手册,请参阅侧面的下载。

特点和优点:
  • 主要用于严酷的化学应用
  • 峰值抽速 1025 m3/h-1 (603 CFM)
  • 极限压力 5.0 X 10-3 Torr
  • 无需预防性维护
  • 3/8 英寸快速连接注水器
  • 水和电源连接配对半部
  • 不锈钢水冷系统
  • 多模式 44 slm 气体模块

应用:
  • 负载锁
  • 转移
  • 气象
  • 光刻
  • 物理气相沉积PVD工艺
  • 物理气相沉积 PVD 预清洗
  • 快速热退火RTA
  • 剥离/灰化
  • 蚀刻
  • 植入源
  • 高密度等离子体化学气相沉积 HDP CVD
  • 快速热处理RTP
  • 低于大气压化学气相沉积SACVD
  • 钨化学气相沉积 WCVD
  • 改良化学气相沉积 MCVD
  • 等离子体增强化学气相沉积 PECVD
  • 低压化学气相沉积 LPCVD

宣传册

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Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

电话: (505) 872-0037
传真: (505) 872-9001
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