Edwards iXL600N 干式真空泵。 200-460 V 50/60 Hz 三相电源。 600 m3h-1 峰值抽速。包括:3/8 英寸快速连接水配件。
爱德华兹 PN:A54134010 iXL600N 是干泵和增压系统的组合。该系统适用于轻型应用,N 型号配有气体模块,可为泵机构区域提供氮气吹扫气体。定子、电机和逆变器驱动器采用水冷。泵送系统可以通过前面板、PDT 附件或通过 MicroTIM 的工具进行控制。干泵系统适用于负载锁和轻型应用。常见应用包括装载锁定、传输、计量、光刻、PVD 工艺和 PVD 预清洁。