Edwards iXL120N 干式真空泵，200-460VAC，氮气吹扫连接，定制，已添加 3/8 QC 快速断开水接头。爱德华兹零件编号：A54114010。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境！一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120N 的特点和优点： 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 同类领先室抽气时间缩短了总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地降低客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V，50 /60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards iXL120 E 200-460VAC 干式真空泵，3/8 QC 水接头。紧凑、小巧、轻便。 Edwards 零件号 A54113010。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。领先的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均循环时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号涵盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC 干式 1/4 QC 水接头。紧凑、小巧、轻便。 Edwards 零件号 A54113020。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 水配件。紧凑、小巧、轻便。 Edwards 零件号 A54113610。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 水配件。紧凑、小巧、轻便。 Edwards 零件号 A54113710。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干真空泵 iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC 水配件，带流量控制阀。 Edwards 零件号 A54113011。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干真空泵 iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC 水配件，带流量控制阀。 Edwards 零件号 A54113221。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干真空泵 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 水配件，带流量控制阀。 Edwards 零件号 A54113611。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。领先的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均循环时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号涵盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards 干真空泵 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 水配件，带流量控制阀。 Edwards 零件号 A54113711。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵，适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量，降低公用事业成本并有助于保护环境。一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应，从而节省安装Edwards iXL120 的特点和优点： 零氮气吹扫选项消除了对氮气供应的需要，节省了安装和运营成本 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和定位选项 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 一流的腔室抽气时间可缩短总平均周期时间 (TACT) 高达 35°C 的供水有助于降低设施冷却水需求 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度地减少客户拥有成本 单一型号覆盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz 极其小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间

Edwards iXL600N 干式真空泵。 200-460 V 50/60 Hz 三相电源。 600 m3h-1 峰值抽速。包括：3/8 快速连接水配件。Edwards PN：A54134010 iXL600N 是干泵和增压系统的组合。该系统适用于轻型应用，N 型号配有气体模块，可为泵机构区域提供氮气吹扫气体。定子、电机和逆变器驱动器采用水冷。泵送系统可以通过前面板、PDT 附件或通过 MicroTIM 的工具进行控制。干泵系统适用于负载锁和轻型应用。常见应用包括装载锁定、传输、计量、光刻、PVD 工艺和 PVD 预清洁。

Edwards GX、iGX、iXH、iXM 和 iXL 泵显示终端、5Way、XLR 插头、手持式键盘显示模块。 Edwards 零件号：D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM 和 iXL 泵显示终端 5 路 XLR 插头。适用于 Edwards GX、iGX 和 iXL120 系列干泵系统的手持式显示器，具有 5 路 XLR 连接。 Edwards 真空零件号 D37280700。

Edwards SPI Micro TIM 模块D37360310SPI Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards SPI 工具接口。 SPI Micro TIM 模块可用于通过您的处理工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 SPI Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards MCM Micro TIM 模块D37360320MCM MicroTIM 模块为带 MicroTIM 插槽的干泵提供 Edwards MCM 工具接口。 MCM Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 MCM Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 GXS 系列（仅限 MCM 版本） CXS 系列（仅限 MCM 版本） 如果这些模块已经存在，则它们可用于通过过程工具或其他控制设备提供对泵的控制和监视。例如，泵可以从 iH 升级到 iH，而无需更改接口模块。 MCM Micro TIM 与 GXS 和 CXS 系列泵具有 AUC 兼容性。相当于 iH iTIM D37422000 - MCM。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards TEL Micro TIM 模块D37360330TEL Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards TEL 工具接口。 TEL Micro TIM 模块可用于通过您的过程工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 TEL Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Semi E73 Micro TIM 模块D37360340Semi E73 Micro TIM 模块为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Semi E73 兼容工具接口。 Semi E73 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Semi E73 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards LAM Alliance Micro TIM 模块D37360350LAM Alliance MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了到 LAM Alliance 平台的工具接口。 LAM Alliance Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 LAM Alliance Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Novellus C3 Micro TIM 模块D37360360Novellus C3 Micro TIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了 Novellus C3 平台的工具接口。 Novellus C3 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Novellus C3 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Hitachi Micro TIM 模块D37360370Hitachi MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Hitachi 工具接口。 Hitachi Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Hitachi Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards iXL 干式半导体泵插头用于制作 iXL 系列真空泵的电源线。这是 Edwards iXL 干式半导体泵插头套件，用于制作 Edwards iXL 系列半导体真空泵的输入电源线。适用于 iXL120 和其他型号。

Edwards EMO 电缆，用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。 Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆，可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路，穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2（输出）连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器，再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1（输入）（详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明） 。问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100（替换 iH80）、iXH610（替换 iH600）等。与旧式 IH 泵不同，新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮（请参阅我们的应用说明中的详细信息）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常采用菊花链配置串联布线。