Edwards iXL120N 干式真空泵,200-460VAC,氮气吹扫连接,定制,已添加 3/8 QC 快速断开水接头。
爱德华兹零件编号:A54114010。 XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干泵,适用于晶圆处理和其他清洁工作应用。它以极低的能耗提供负载锁定室的快速抽真空。 iXL120 是适用于负载锁定和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内,有助于节省宝贵的晶圆厂占地面积。绿色模式可以减少闲置期间的公用事业使用量,降低公用事业成本并有助于保护环境!
一流的腔室抽空时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本 绿色模式可在闲置期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的供水有助于降低设施冷却水需求极小、极轻,有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行,无需日常维护 独特的双入口布置可实现高效的前级布线和位置选择 零氮气吹扫选项无需氮气供应,从而节省安装和运营成本
Edwards iXL120N 的特点和优点:
- 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行,无需日常维护
- 独特的双入口布置可实现高效的前线布线和位置选择
- 绿色模式可在空闲期间降低高达 92% 的功耗
- 领先的腔室抽气时间缩短了总平均周期时间 (TACT)
- 高达 35°C 的供水有助于减少设施冷却水需求
- 仅 0.55 kW1 功耗有助于最大限度降低客户拥有成本
- 单一型号涵盖电源电压范围 200-460 V、50/60 Hz
- 极其小巧轻便,有助于节省宝贵的晶圆厂空间