Edwards nEXT85D 涡轮泵套件配备 CF 4.5 英寸入口和 nXDS6i 粗加工干式涡旋泵、TAG 控制器和 ACX85 强制风冷套件。此 Edwards nEXT85D 涡轮泵套件采用 ISO-K 63 入口法兰,包括 Edwards nXDS6i 干式涡旋低真空泵。 nEXT85D 涡轮泵的抽速为 84 l/s,极限压力为 5 x 10
-10 mbar (3.7 x 10
-10 Torr)。其中包括带有大型 LED 显示屏的 TAG(涡轮和主动真空计)控制器,用于显示泵的速度或真空压力,以及电源和交流电源线,可为 nEXT85D 涡轮泵和真空计供电。该套件还包括一个强制风冷套件,以保持涡轮泵冷却运行。风扇可以径向或轴向安装。它插入泵的附件端口并由泵供电。该涡轮泵套件包括低真空泵,但不包括低真空管线、真空室、压力测量表或排气阀。一些升级可能包括:TIC 控制器和 TIC 继电器盒(以提供更好的系统自动化和控制)、水冷套件以及延长电缆以延长泵、电源和控制器之间的距离。所有这些物品均由 Ideal Vacuum 提供和单独销售。
关于带 ISO-K 63 法兰的 nEXT85D 涡轮泵Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵配有 ISO-K 63 入口法兰,抽气速度为 84 升每秒 (l/s),极限压力为 5 x 10
-10 mbar (3.7 x 10
-10 Torr)。该 nEXT85D 泵配有入口滤网和 ISO KF-16 排气前级法兰。 nEXT85D 系列涡轮泵需要 24 至 48 VDC 输入功率,最大功率为 120 瓦(正常运行通常小于 80 瓦)。永久连接的 DB15 组合电源和控制电缆是泵的标准配置。所有 nEXT85D 涡轮泵均配有紧凑型板载控制器,带 RS232、RS485 和 USB 接口、五个状态 LED,并且可以控制空气冷却风扇或电磁通风阀(“Y”连接器可用于连接风扇和阀门)。 USB 端口允许使用 Edwards nST2 PC 软件(从下面的链接免费下载)。该 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 部件号为 B8G210B01。
关于 nXDS6i 干式涡旋低真空泵这款 Edwards nXDS6i 干式涡旋粗抽/前级泵的抽速为 3.6 cfm (6.2 m
3 /hr),极限真空为 0.015 Torr (0.020 mbar)。它有KF-25(NW25)入口和出口。它需要 100-240 VAC 单相电源,并具有标准 C14 电源连接器。 nXDS6i 消耗 10A@120VAC (6A@240VAC)。 nXDS6i 涡旋泵的噪音水平为 52 dB(A),比竞争产品低二十倍。该泵具有板载逆变器控制器,允许使用易于使用的按钮手动控制泵,或者在连接到 Edwards TIC 或 TAG 控制器或用户提供的软件界面时通过其 RS232/RS485 接口进行远程控制。该泵配有交流电源线。这款 Edwards nXDS6i 干式涡旋泵的部件号为 A73501983。
关于 TAG(Turbo 和 Active Gauge)控制器Edwards TAG(Turbo & Active Gauge)控制器配有 200 瓦外部电源和 2 米长 115 VAC US 电源线(5-15P 至 C13 连接器)。 TAG 是一款小型低成本 24 VDC 泵送系统控制器,非常适合在空间有限的台式或移动平台上使用,并且适用于各种真空应用。 TAG 提供用于显示涡轮泵速度的串行接口,可为 nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电,并可控制 APG、AIM、ASG 或 WRG 真空计。 TAG 的按钮界面允许用户轻松地在泵速或真空压力之间切换,显示在大型 LED 显示屏上。该 TAG 控制器的 Edwards 部件号为 D39592000,其电源为 D39592800。
关于 ACX85 径向/轴向组合风冷套件ACX85 强制风冷套件专为 nEXT85D 涡轮泵而设计。该套件可以轴向或径向安装,并具有一根 0.3 米长的电源线,其端接有附件端口连接器。风扇插入泵的附件端口并由泵供电。该套件包括以任一方向安装风扇所需的所有硬件。轴向安装时,风扇装置安装在泵的底部,并提供与泵轴共线的强制气流。当径向安装时,风扇装置安装在泵的侧面,并提供垂直于泵的强制气流。此 Edwards 组合轴向/径向强制风冷套件的部件号为 B8G200820。
此一揽子交易的申请包括:- 质谱
- 气相色谱质谱 (GC/MS)
- 液相色谱质谱法 (LC/MS)
- 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
- 飞行时间质谱 (TOF)
真空研发:- 高能物理
- 融合技术
- 一般特高压研究
- 同步加速器光源 粒子加速器
纳米技术仪器:- 电子显微镜
- 扫描电子显微镜 (SEM)
- 透射电子显微镜 (TEM)
- 聚焦离子束系统 (FIB)
- 表面分析
- 半导体制造
工业真空处理:- 薄膜沉积:
- 玻璃镀膜设备(建筑和汽车玻璃、平板显示器)
- 薄膜太阳能电池生产(光伏)
- 光学数据介质(CD、DVD、磁光盘)
- 磁性存储介质
- 表面处理
- 光学镀膜(眼科、精密光电)
- 薄膜或箔片上的卷筒/卷筒涂层
设备处理:- 电视及显示器显像管制造
- 灯的疏散(高速公路照明、光束灯)
- X 射线管和电子设备
一般流程:该套装交易作为套件存储在我们的库存中,由许多单独的部件组成,每个部件都列在下面的
套件组件可用性部分中。操作说明手册和 Edwards nEXT 系列产品手册可下载。