Edwards nEXT85D 涡轮真空泵，带 ISO-K 63 入口法兰 84 l/s 抽速，风冷或水冷。编号：B8G210B01

Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵的抽速为 84 升每秒 (l/s)，极限压力为 8 x 10 ^-8 mbar (6 x 10 ^-8 Torr)。该 nEXT85D 泵具有 ISO-K 63 入口法兰（包括入口滤网）和 ISO KF-16 排气前级法兰。 nEXT85D 系列涡轮泵需要 24 至 48 VDC 输入功率，最大功率为 120 瓦（正常运行通常小于 80 瓦）。所有 nEXT85D 涡轮泵均配有紧凑型板载控制器，带 RS232、RS485 和 USB 接口、五个状态 LED 以及一个用于控制空气冷却风扇或电磁通风阀的附件端口（“Y”连接器可用于连接两者）风扇和阀门）。所需要的只是合适的电源和启动/停止逻辑。对于实验室使用，我们建议使用 Edwards 涡轮仪器控制器 (TIC) 或涡轮主动测量仪 (TAG)，它们既可以充当较小尺寸 nEXT 泵的电源和远程控制器。我们提供各种可选配件，包括 TIC 和 TAG 控制器、强制风冷和水冷套件以及电磁操作排气阀。该 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 部件号为 B8G210B01。

Edwards nEXT85D 涡轮泵规格：

• 零件编号：B8G210B01
• 入口法兰：ISO-K 63
• 基础压力：8 x 10 ^-8毫巴（6 x 10 ^-8托）
• 运行速度：90,000 RPM
• 操作位置：从水平到垂直（入口向上）
• 抽速：84 升/秒
• 冷却：强制风冷或水冷
• 排气法兰：KF-16
• 工作电压：24-48 VDC
• 最大功率：120 瓦（典型操作 < 80 瓦）
• 电源及通讯：DB15串行RS232/RS485接口、USB
• 1个附件端口
• 推荐的低真空泵：nXDS6i

nEXT 涡轮泵的转子旨在优化泵性能，同时保持高水平的可靠性。 nEXT 涡轮泵的“D”型号具有涡轮分子级和阻力级，可提高对更高背衬管线压力的耐受性，并且对所有气体种类都具有卓越的抽速和压缩能力。除了增强的性能外，nEXT85D 涡轮泵还具有可现场维修的油盒和轴轴承，可大大减少停机时间。 nEXT D 涡轮泵受益于紧凑的板载控制器，该控制器具有用于控制泵运行和待机速度的驱动电子设备，以及操作电磁通风阀（TAV5、TAV6）和空气冷却装置（通过 24 VDC 附件端口）。集成控制器有一个 DB15 接口，用于 RS232 和 RS485 串行通信以及为泵供电。 USB 端口允许使用 Edwards nST2 PC 软件（下面免费下载）。该控制器还具有五个 LED 指示灯，用于指示泵的一般状态、操作和维修状态。可选的 TIC 涡轮仪表控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器可以为泵供电和控制。

带 CF 法兰的 Edwards nEXT 泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10 ^-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫片并且真空室经过彻底清洁和烘烤）。带有 ISO 法兰的涡轮泵的极限压力（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和除气）限制在 10 ^-8 Torr 范围内。当涡轮机采用水冷时，Conflat 法兰 nEXT85D 泵的进气温度可高达 120 °C。 Conflat 泵的加热带单独出售。

对于真空系统集成应用，nEXT85D 泵可由合适的用户提供 24 至 48 VDC 电源供电。对于实验室应用，我们推荐 Edwards TIC 涡轮仪器控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器，其中任何一个都可以供电并控制泵。 TIC 系列控制器是台式或机架式远程用户界面/电源，通过 RS232/RS485 与 Edwards nEXT 系列泵进行通信，并提供对涡轮泵的全面监控和控制，并可选择一个或多个真空计仪器。添加 Edwards 继电器盒后，它成为 TIC 控制器与主前级泵、涡轮泵法兰加热器带和后级管线隔离阀之间的控制接口。 TAG 涡轮和主动真空计控制器可为 nEXT85D 涡轮泵和真空计供电，其大型 LED 显示屏可显示泵速或真空压力。

泵说明手册和 Edwards nEXT 泵产品手册可在下载部分获取。

典型的涡轮泵应用包括：

• 一般清洁泵送应用
• 扫描电子显微镜 - SEM
• 光束线和高能物理
• 质谱
• 电子显微镜
• 样品制备
• 研究与开发
• 高能物理
• 工业的
• 半导体
• 涂料
• 表面科学仪器