Edwards nXDS 排气和气镇套件适用于小型改造服务,适合所有 nXDS 系列泵。
Edwards 真空部件号 PN:A735-01-803。这些 Edwards nXDS 系列干式涡旋泵排气阀和气镇套件通常在需要进行小型改造服务时使用。这通常需要在泵投入使用 2 年后进行,通常需要 12,000 至 16,000 个运行小时。它们通常在更换端部密封件时同时安装,请参阅 Edwards 端部密封套件零件号 A735-01-801。随着顶部密封件磨损,泵将开始失去达到最低极限压力的能力。当对良好、干净、密封的真空室进行抽真空时,新 nXDS 泵的基本压力通常测量为 10 mTorr 或更低。如果您发现基础压力现在仅达到 25 mTorr,则可能需要更换顶部密封件。请参阅下面下载部分的顶部密封件更换手册中显示的说明。
适用于所有 Edwards nXDs 系列干式涡旋真空泵- 爱德华兹 nXDS6i
- 爱德华兹 nXDS10i
- 爱德华兹 nXDS15i
- 爱德华兹 nXDS20i
- 爱德华兹 nXDS6ic
- 爱德华兹 nXDS10ic
- 爱德华兹 nXDS15ic
- 爱德华兹 nXDS20ic
- 爱德华兹 nXDS6ir
- 爱德华兹 nXDS10ir
- 爱德华兹 nXDS15ir
- 爱德华兹 nXDS20ir