Edwards 替换传感器 APG100-XLC 主动皮拉尼真空计 NW25、KF25、耐腐蚀、10-4 Torr

Edwards APG100-XLC 替换表管传感器（耐腐蚀铂/铱丝）具有 NW25 (KF25) 真空法兰，设计用于安装 APG100-XM 有源皮拉尼电子外壳。它们是一种具有成本效益的维修解决方案。新型 Edwards 仪表与所有 Edwards TIC、ADC、TAG 仪器控制器和其他有源仪表控制器和显示器兼容。 APG100 有两个版本：“M”版本（包含标准钨/铼丝）可以测量低至 10-3 Tor 的压力，适合一般应用； “LC”版本（包含耐腐蚀铂/铱丝）可以测量低至 10-4 Torr 的压力，也适用于腐蚀性应用。

APG100 可以以任何方向安装，但仪表管在工厂时均在氮气中垂直校准。为了在您选择的仪表方向上获得正确的压力指示，仪表应在大气压下重新校准。 Edwards 建议垂直安装仪表管，以尽量减少仪表内过程颗粒和可冷凝蒸汽的积聚。 APG100 已针对氮气中的使用进行了校准，并且在干燥空气、氧气和一氧化碳中也能正确读数。对于任何其他气体类型，需要进行转换才能获得正确的压力读数。图 7 和图 8 显示了 6 种常见气体的转换：氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氪气和氖气。

由于其无铅结构，它们还获得了 CSA、C/US 批准，并且完全符合 RoHS 标准。压力范围低至 10 ^-3 Torr。信号电缆和真空计控制器单独出售。下面提供了这些 Edwards APG100 系列仪表的 PDF 格式的说明手册。这些 Edwards APG100-XM 主动皮拉尼真空计替换传感器具有 NW25 (KF25) 真空法兰和 Edwards 零件号 D02604801。

特点包括：

• 外壳紧凑，方便接入信号电缆
• 传感器可烘烤至 150°C (300°F)，并且用户可更换传感器
• 可调节设定点，实现简单的过程控制和联锁
• 可进行远程校准
• 耐腐蚀
• 压力范围 10 ^-4托

皮拉尼和对流增强型皮拉尼真空计的背景
皮拉尼真空计可归类为热导计，与热电偶真空计非常相似，热电偶真空计通过测量加热丝的电阻来确定真空压力。皮拉尼真空计旨在测量加热丝形成惠斯通电桥电路的一个臂的电阻不平衡。随着真空压力增加，气体分子将热量从灯丝带走，压力传感器的电阻将移至较低值，从而使电路不平衡。因此，真空压力是根据惠斯通电桥电路中压力引起的不平衡来计算的。正如热电偶仪表一样，分子碰撞产生的热导率在 0.001 至 1 托压力范围内随压力线性增加。然而，随着压力进一步增加到粘性流动状态，热量去除变得非线性，其中气体-气体碰撞可以将分子重新定向回加热的金属丝。分子必须经过多次碰撞才能到达传感器的外部主体（散热器）。对流增强型皮拉尼压力计利用传感器内部的常规电流将其压力测量范围一直扩展到大气压。

皮拉尼压力计是一种间接压力测量传感器，其测量读数取决于气体类型。值得注意的是，较重的气体传热率较差，而且标准的增强型皮拉尼真空计是针对 N2 进行校准的（与空气的校准基本相同）。当用氩气等较重的气体回填真空系统时，这可能会导致危险的超压状况。如果真空系统操作员没有针对正确的气体类型校正仪表显示读数，例如，针对 N2 校准的标准仪表，当真空室处于 760 Torr 的氩气时，会显示 24 Torr。操作员会误以为腔室仍处于真空状态，并继续将系统增加到临界超压状态。如果对流增强型皮拉尼真空计安装不正确，则会产生另一个误差源，大多数商业传感器要求它们平行于地面安装。这样可以保持传感器内部的约定电流沿设计方向流动（如果约定增强型皮拉尼传感器未水平安装，则很容易引入 20% 或更多的误差）。

这些对流增强型皮拉尼传感器的快速疏散将在短短几秒钟内产生显着的测量误差。当快速泵送的气体膨胀时，压力传感器灯丝的散热不是正常的对流，而是由强制对流驱动。当真空压力迅速下降时，气体膨胀并冷却，这提供了从热传感器线上去除热量的辅助路径。对流增强型皮拉尼真空计在系统抽空期间可能会错误地显示高达 1000 Torr 的高压。一旦气体流动停止，压力读数将再次稳定到实际的测量值。由于这些原因，对流增强型皮拉尼压力计不太适合测量动态泵送条件下的压力变化。总体而言，对流增强型皮拉尼压力表是一种流行的经济高效的粗真空压力表，可以测量从大气压到 1x10-4 Torr 的压力，其中低于 1 Torr 的测量结果最为准确。