理想真空 3 位 UHV 气动操作闸阀，节流 3 位置，带电磁阀和簧片传感器，24VDC，CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰，Viton O 形环标准密封，1x10-10 mbar，SUS304 阀体，50,000 次循环 CF 10.0 英寸螺栓固定法兰，带 5/16-24 UNF 螺纹 这款理想真空 3 位节流闸阀采用 Conflat CF 10.0 英寸 (DN CF200) 法兰气动操作。它具有可设置为部分打开的 3 位置。它适用于超高真空 (UHV)，并配有用于闸阀的标准 Viton O 形环密封件和用于阀盖的 Viton O 形环或 OFHC 铜垫圈，带有气动控制电磁阀。这些阀门的典型使用寿命为 50,000 次循环，之后才需要维修。它们采用耐腐蚀的 304 不锈钢闸板和阀体制成。这种 3 位控制可为各种真空沉积工艺（特别是薄膜沉积工艺室系统）提供灵活性和精确度，以保持最佳条件。物理气相沉积涂层室中的应用这种 3 位闸阀专为可靠的高真空和超高真空 (UHV) 应用而设计，通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。它在节流真空工艺（如 PVD 磁控溅射沉积）中的使用越来越广泛。在 PVD 涂层室（例如溅射系统）中，3 位闸阀通常用于控制涡轮分子泵和主工艺室之间的连接。这些闸阀可精确控制真空系统，并可隔离泵、保护室和调节抽气速度。典型的 3 位闸阀的三个位置为：1.全开位置：最大电导率，全涡轮泵送速度，用于初始抽空或在沉积期间保持高真空。2. 部分打开（节流位置）：目的：在部分打开位置，闸阀仅部分打开，节流腔室和涡轮泵之间的电导率。在使用反应性气体（例如反应溅射中的氧气或氮气）或需要微调压力以实现最佳薄膜生长时，节流非常重要。此部分打开位置在安装过程中手动设置和调整一次，可以随时更改以运行不同的工艺条件。3. 全关位置：目的：在完全关闭位置，闸阀将涡轮泵与主腔室完全隔离。用例：此位置用于在腔室排气、负载锁腔室样品加载等过程中或腔室暴露于大气压力时保护涡轮泵。它可以防止污染物或大气进入涡轮泵，从而可能损坏它。规格： 规格及特点： 材料 阀体 SUS304 滑架 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - SUS304, A6061-T6 闸板 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - A6061-T6 波纹管 AM350 使用寿命 HV :DN200 - 300,000 次循环 UHV :DN200 - 50,000 次循环 1 atm 压差下的氦气泄漏率 <2×10-9 mbar·l /sec (O 型圈) <5×10-10 mbar·l /sec (垫片密封) 烘烤温度 打开 - 200 °C Viton 阀盖密封 关闭 - 150 °C Viton 阀盖密封 压力范围 (mbar) HV：1x10-8 ~ 1000 UHV：1x10-10 ~1000 打开前最大 delta P (mbar) < 30 标准密封 闸板 - Viton O 形圈 阀盖 - Viton O 形圈或 OFHC 铜垫片 执行器 - 气动 压缩空气供应 管连接 - 6 毫米 压力范围 - 4-6 Kg/cm2（过压） 表面处理 - 苏格兰抛光 选项 位置指示器 气动控制电磁阀 粗加工端口 其他材料 闸板 O 形圈密封 请参阅下载内容以获取关于此闸阀和其他相关阀门配置的更多信息。

理想真空 3 位 HV 气动操作闸阀，节流 3 位置，带电磁阀和簧片传感器，24VDC，ISO-F 200 (DN 200) 法兰，Viton O 形环标准密封，1x10-8 Torr，SUS304 阀体，300,000 次循环 这款理想真空 3 位节流闸阀采用气动操作，带 ISO-F 200 (DN CF200) 法兰。它具有可设置为部分打开的 3 位置。它适用于高真空 (HV)，并配有用于闸阀的标准 Viton O 形环密封件和用于阀盖的 Viton O 形环或 OFHC 铜垫圈，带有气动控制电磁阀。这种 ISO-F 法兰闸阀使用 Viton O 形圈作为波纹管和阀盖板密封，因此仅限于极限压力低至 1x10-8 Torr 的高真空 (HV) 应用。这些阀门在需要维修之前的典型寿命为 300,000 次循环。它们采用耐腐蚀 304 不锈钢闸板和阀体制成。这种 3 位控制提供了灵活性和精确度，可为各种真空沉积工艺（特别是薄膜沉积工艺室系统）保持最佳条件。在物理气相沉积涂层室中的应用这种 3 位闸阀专为可靠的高真空应用而设计，通常与低温、涡轮和离子高真空泵结合使用。它在 PVD 磁控溅射沉积等节流真空工艺中的使用越来越多。在 PVD 涂层室中（例如溅射系统），3 位闸阀通常用于控制涡轮分子泵和主工艺室之间的连接。这些闸阀可精确控制真空系统，并可隔离泵、保护腔室和调节抽气速度。典型的 3 位置闸阀的三个位置为：1. 完全打开位置：最大电导率、全涡轮抽气速度，用于初始抽空或在沉积期间保持高真空。2. 部分打开（节流位置）：目的：在部分打开位置，闸阀仅部分打开，节流腔室和涡轮泵之间的电导率。当使用反应性气体（例如反应溅射中的氧气或氮气）或需要微调压力以实现最佳薄膜生长时，节流很重要。此部分打开位置在安装过程中手动设置和调整一次，可以随时更改以运行不同的工艺条件。3. 完全关闭位置：目的：在完全关闭位置，闸阀将涡轮泵与主腔室完全隔离。用例：此位置用于在腔室通风、负载锁腔室样品加载等过程中或腔室暴露于大气压力时保护涡轮泵。它可防止污染物或大气进入涡轮泵，从而防止涡轮泵受损。规格： 规格及特点： 材料 阀体 SUS304 滑架 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - SUS304, A6061-T6 闸板 联动类型 - SUS304 球型尺寸小于 10” - SUS304 球型尺寸大于 10” (含) - A6061-T6 波纹管 AM350 使用寿命 HV :DN200 - 300,000 次循环 UHV :DN200 - 50,000 次循环 1 atm 压差下的氦气泄漏率 <2×10-9 mbar·l /sec (O 型圈) <5×10-10 mbar·l /sec (垫片密封) 烘烤温度 打开 - 200 °C Viton 阀盖密封 关闭 - 150 °C Viton 阀盖密封 压力范围 (mbar) HV：1x10-8 ~ 1000 UHV：1x10-10 ~1000 打开前最大 delta P (mbar) < 30 标准密封 闸板 - Viton O 形圈 阀盖 - Viton O 形圈或 OFHC 铜垫片 执行器 - 气动 压缩空气供应 管连接 - 6 毫米 压力范围 - 4-6 Kg/cm2（过压） 表面处理 - 苏格兰抛光 选项 位置指示器 气动控制电磁阀 粗加工端口 其他材料 闸板 O 形圈密封 请参阅下载内容以获取关于此闸阀和其他相关阀门配置的更多信息。