理想真空 HALO 观察窗,不发光,ISO-80,LF80,3/8 英寸熔融石英这款理想真空 HALO 视口配有熔融石英窗口,具有 ISO-K 型法兰,可用于任何带有 ISO LF 80 端口的真空室。
我们的熔融石英窗采用最优质的天然石英制造,具有最高的纯度和最低的夹杂物和气泡水平。与 Heraeus TSC-3 相比,这些窗口具有更高的透射率,并且比标准玻璃具有更宽的有用波长范围。特性包括低折射率变化和低热膨胀系数。熔融石英用于半导体应用,例如等离子蚀刻和沉积系统,并且在指定低碱和低铝含量时推荐使用。它通常用于需要高激光损伤阈值的可见光和近中红外波长的透射光学器件。熔融石英在 2600 至 2900 nm 区域具有吸收带,与熔融石英类似,但没有那么强。由于 270 nm 区域有吸收,因此不适合 UV 工作。
我们还提供 HALO 视窗组件和带有标准低铁钢化玻璃或熔融石英的替换玻璃。钢化玻璃通常用于粗加工或高真空腔室工艺的一般直接观察,可用于促进腔室组件的光学对准、观察流体脱气,或用于通过直接观察来帮助教授真空工艺。玻璃材质为标准低铁浮法玻璃。根据 ASTM 1036-06 和 1048-04,表面质量和平整度为 Q4。玻璃的铁含量低,导致其具有轻微的蓝色调。这种经济型玻璃不适合低于可见光或超过近红外 (NIR) 波长的激光实验。
我们的高纯度熔融石英窗口在两侧均经过研磨和抛光至光学级,总厚度变化 (TTV) <10μm,表面光洁度为 S/D 40/20,表面粗糙度 Ra < 1 nm(可比康宁 HPFS 7980)。与标准玻璃相比,这些窗户具有明显提高的透射率和更宽的有用波长范围。特性包括极低的折射率变化、低双折射率和超低的热膨胀系数。熔融石英用于需要高激光损伤阈值的透射光学器件。熔融石英用于在深紫外、可见光和近红外波长范围内工作的光学器件。
请注意,熔融石英库存有限,因为 Ideal Vacuum 正在过渡到熔融石英作为其优质窗口产品。另请注意,熔融石英窗可能会错误地标有熔融石英零件号。您可以通过检查销售发票来验证窗户材料。
非照明 HALO 视口可现场维修。如果实验要求发生变化,可以更换窗玻璃或改为其他材料。钢化玻璃、熔融石英、熔融石英的透射率曲线见下图:
![钢化玻璃、熔融石英和熔融石英的透射曲线](https://www.idealvac.com/files/images/Glass_Quartz_Silica_Transmittance_Graph-FINAL.jpg)
非照明 HALO 观察窗有 ISO 63、80、100、160、200 和 250 尺寸可供选择,用于代替空白 ISO 法兰。与其他 ISO 配件一样,这些 ISO 法兰窗使用单爪或双爪夹以及配有 O 形圈的定心环。在 ISO-K 至 ISO-K 连接上使用双爪夹。在 ISO-K 至 ISO-F(螺栓)连接上使用单爪夹。推荐的爪夹数量和类型以及所需的定心环如下表所示:
![用于理想真空 HALO 观察窗的单爪和双爪夹具和定心环表](https://www.idealvac.com/files/images/HALO-Clamps-n-Rings-Table.jpg)
我们的 ISO 观察窗采用创新的零金属与玻璃接触设计,将 3/8 英寸厚的窗玻璃固定在不锈钢安装法兰上。这种缓冲窗口安装系统可确保操作员的安全,并且即使在高真空压力下,也比其他视口窗口配置更不易泄漏。 Ideal 真空 ISO HALO 观察窗在交付时已完全组装,并使用 Viton O 形圈和特氟龙垫片。允许烘烤温度达到 150 °C。
注意:所有观察窗或视口本质上都是脆弱的,应小心处理,并在使用前始终进行检查。理想的真空观察窗仅针对真空而设计和额定,如果暴露在快速温度变化(>10°C/分钟)下,可能容易受到热冲击的影响。如果将激光束引导穿过窗口,请确保激光的波长可以合理地透过窗口的材料。请下载并阅读 HALO View Window 用户手册中的所有安全警告。