安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带标准冷盖，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，240 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS- 系列32 和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于瓦里安 HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换零件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）标准冷帽 最大抽速 10,000 升/秒空气 240V @ 2700 瓦 加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵随附：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 2 个 1/2" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301111 4 个 3/8" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带 Halo 挡板，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，240 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS-32 系列和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换部件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）推荐的粗加工前级泵：=80 CFM Halo 挡板 最大抽速 10,000 l/s 空气 240V @ 2700 瓦加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵附带：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 两个 1/2" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301111 四个 3/8" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带标准冷盖，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，415 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS- 系列32 和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于瓦里安 HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换零件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）标准冷帽 最大抽速 10,000 l/s 空气 415V @ 2700 瓦 加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵随附：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 2 个 1/2" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301111 4 个 3/8" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带 Halo 挡板，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，415 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS-32 系列和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换部件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）推荐的粗加工前级泵：=80 CFM Halo Baffle 最大抽速 10,000 l/s 空气 415V @ 2700 瓦加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵附带：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 两个 1/2" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301111 四个 3/8" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带标准冷盖，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，480 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS- 系列32 和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于瓦里安 HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换零件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）标准冷帽 最大抽速 10,000 升/秒空气 480V @ 2700 瓦 加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵随附：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 2 个 1/2" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301111 4 个 3/8" 软管 3/8 管道倒钩连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 高真空扩散泵，带 Halo 挡板，抽速 10,000 升/秒 16 英寸 ASA 入口，3 英寸 ASA 排气口，480 VAC 这些瓦里安安捷伦高通量型号包括 HS-16、HS-20、HS-32 系列和 NHS-35。这是 HS-16 扩散高通量真空泵。它们是高真空抽气机构的主要工业标准。与相同真空范围内使用的其他类型的泵相比，安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵对所有气体都具有高抽速，并且单位抽速成本较低。完整的分馏设计允许汽化流体在锅炉和喷射组件中进行分馏。污染物和分解产物被抽走，只有最纯净的蒸汽到达顶部喷射，确保最高的速度和最低的回流。真空流体加热器安装在泵体底部。 HS 泵具有填充和排放组件，可轻松维护泵液并通过热保护开关进行连续监控。翅片式锅炉增加了表面积，从而延长了流体寿命。入口位于顶部，排气通过前级管道。扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导到泵的底部并从排气口排出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。尽管其使用主要在高真空范围（低至 10-9 Torr）内进行，但当今扩散泵在与现代流体和配件正确使用时可以产生接近 10-10 Torr 的压力。扩散泵对高真空和超高真空应用具有吸引力的特点是，与相同真空压力范围内使用的其他类型的泵相比，它对所有气体具有高抽速，并且单位抽速成本较低。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。这些瓦里安 HS-16 型高真空、高通量扩散泵是新款，可与三相 240、415 或 480 VAC 加热器一起订购。订购时，请指定您的应用所需的电压。我们库存并销售扩散泵油，例如 IVP 704 扩散泵油以及适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵的真空配件、适配器和替换部件。该泵使用 IVP 704 扩散泵油，设计用于生产作业中高真空和快速泵送大量气体或蒸汽。对于 HS-16 说明手册，请向下滚动至手册选项卡“可用下载”并下载 PDF。安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵的亮点 16 英寸 ASA 入口法兰，外径 23.5 英寸，孔尺寸 1.12 英寸（16 个螺栓孔） ASA 3 英寸出口法兰，外径 7.5 英寸，孔尺寸 0.75 英寸（4 个螺栓孔）推荐的粗加工前级泵：=80 CFM Halo Baffle 最大抽速 10,000 l/s 空气 415V @ 2700 瓦加热器（需要 3 个） 设计用于与 IVP 704 扩散泵油（3 夸脱）一起使用 ASA 泵附带：一个入口法兰 O 形圈 PN 48214001 1 个前级法兰 O 形圈 PN 660890348 两个 1/2" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301111 四个 3/8" 软管 3/8 管道倒刺连接器 PN 624301110 安装和操作手册 PN 699901140

安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵替换标准冷帽。 Agilent Varian PN 84358301。这些 Agilent Varian HS-16 扩散泵标准冷帽是可在客户现场安装的替换部件。冷帽有两种类型：标准型和 Halo Baffle。所使用的冷帽类型会影响诸如油回流和扩散泵的最终抽速等因素。例如，Halo Baffle 冷帽是安装在 HS-16 泵内代替标准冷帽的选件。 Halo 挡板与光密挡板一样有效地阻止回流，但它仍保留 60% 的泵速。残余回流非常低，以至于无法通过美国真空协会的标准收集方法进行测量。有关冷帽的位置，请参阅下面所示的分解图和零件插图中的第 1 项。有关冷帽的拆卸安装程序，请参阅下面 PDF 说明手册的第 38 页。这些标准冷帽是 OEM 原装安捷伦瓦里安替换零件，零件号为 79299301。

Agilent Varian HS-16 扩散泵冷盖和螺母随动件（各 2 个） 安捷伦 Varian 部件号 L8840301 这些 Agilent Varian HS-16 扩散泵冷盖和螺母随动件（各 2 个）是喷射组件的一部分，是 OEM Agilent HS-16 扩散真空泵的瓦里安替换部件。这些是 HS-16 扩散泵的原装 OEM 安捷伦瓦里安替换零件，零件号为 L8839301，请参见下面分解图和零件插图中的第 2 项。

Agilent Varian HS-16 喷射组件、扩散泵替换部件 Agilent Varian 部件号 83612401 这些 Agilent Varian HS-16 扩散泵喷射组件是 HS-16 扩散真空泵的 OEM Agilent Varian 替换部件。该套件包括完整的喷嘴组件，请参阅下面 PDF 说明手册第 40 页引用的喷嘴组件。这些是 HS-16 扩散泵的原装 OEM 安捷伦瓦里安替换零件，零件号 PN 83612401，请参见下面分解图和零件插图中的第 3 项。

Agilent Varian HS-16 前级挡板组件、扩散泵替换部件 Agilent Varian 部件号 80798301 这些 Agilent Varian HS-16 扩散泵替换前级挡板组件是 OEM Agilent Varian 替换部件，部件号为 80798301。前级挡板位于粗加工生产线中扩散泵的排气臂。它们旨在帮助防止扩散泵油在高吞吐量条件下输送到低真空泵。请参见下图中气球 #5 所示的 HS-16 扩散泵粗加工线臂。

Agilent Varian HS-16 排油塞，扩散真空泵替换部件 安捷伦瓦里安部件号 PN 77261001 这是替换排油塞。适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵。有关放油塞的位置，请参见下面的图#7（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 喷射耦合扩散泵替换部件 安捷伦瓦里安部件号 L6367301 这些 Agilent Varian HS-16 扩散泵喷射耦合部件是喷射组件的一部分，是 HS-16 扩散真空泵的 OEM Agilent Varian 替换部件。请参阅下面 PDF 说明手册第 40 页的参考内容。这些是 HS-16 扩散泵的原装 OEM 安捷伦瓦里安替换零件，零件号为 L6367301，请参见下面分解图和零件插图中的第 4 项。

Agilent Varian HS-16，ASA 16 英寸入口扩散泵 O 形圈套件。 Agient Varian PN K0377164 这是 Agilent Varian HS-16（ASA 16 英寸）扩散泵 O 形圈套件。 O 型圈套件包含： 3 个丁基入口法兰 O 型圈，ASA 16 英寸 1 个前级法兰 O 型圈，ASA 3 英寸 8 个 Viton 填充和排放 O 型圈 4 个 Viton O 型圈 1 个视镜 O 型圈 1 个石墨视镜垫片

Agilent Varian HS-16 油视镜，扩散真空泵替换部件 安捷伦 Varian 部件号 PN K8475001 这是替换油视镜，适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵。有关视镜的位置，请参阅下面的项目#6（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，加热器隔热毯，1 件 Agilent Varian 部件号 PN 79309001 这是备用加热器隔热毯。适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵。 3 块陶瓷毯，0.50 英寸厚。有关绝缘毯的位置，请参阅下面的项目#14（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，加热器盖板。 Agilent Varian 部件号 PN 79308001 这是替换加热器盖板。适用于 Agilent Varian HS-16 扩散泵。有关加热器盖板的位置，请参阅下面的项目#15（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-20 和 HS16 上部热开关、扩散真空泵替换部件 Agilent Varian 部件号 PN K9050001 这是替换上部热（水）开关。适用于 Agilent Varian HS-20/16 扩散泵。设置为 185°F、85°C。有关上部热开关的位置，请参见下面的图 #8（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-20 HS16 下部热开关，扩散真空泵替换部件 Agilent Varian 部件号 PN K9050002 这是替换下部热开关（锅炉）。适用于 Agilent Varian HS-20 HS-16 扩散泵。设置为 390°F、199°C。有关上部热开关的位置，请参见下面的图 #9（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-20 HS-16 下部和上部热控开关套件，扩散真空泵替换部件 Agilent Varian 部件号 PN L8841301 这是用于下部（锅炉）和上部（水）开关的替换热控开关。适用于 Agilent Varian HS-20 HS-16 扩散泵。下部开关设置为 390°F、199°C。上部开关设置为 185°F、85°C。有关上部和下部热开关的位置，请参见下面的图 #9（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，替换破碎板 Agilent Varian 部件号 PN K4919001（更换加热器时应更换） 这是替换破碎板。（各 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵。更换加热器时应同时更换。有关破碎板的位置，请参见下面的项目#12（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，替换夹板 Agilent Varian 部件号 PN K4917001（每个泵需要 3 个） 这是替换夹板。（每个 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵。每个泵需要 3 个。有关夹板的位置，请参见下面的项目#13（分解图和零件图）。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，加热器元件常开引线，200 Vac、415 Vac、2700 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647316035。（适用于 1990 年 5 月之前制造的 HS-16 泵）这是替换加热器元件常开引线，200 V ，415 V，2700 W。（各 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵。 （对于 1990 年 5 月之前制造的 HS-16 泵）有关加热器元件的位置，请参见下面的项目 #11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）

用于将 ASA 闸阀连接至 ASA 扩散泵的安捷伦瓦里安螺栓 3/4-10 1-1/4" 长六角螺栓 - 粗螺纹，各 1 个。这些螺栓用于将 ASA 闸阀连接至 ASA 扩散泵，ASA 尺寸 6， 8 和 10 英寸。各一个，尺寸 3/4-10 1-1/4" 长度六角螺栓 - 粗螺纹。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，加热器元件 NO 引线，480 Vac，2700 W 安捷伦 Varian 部件号 PN 647316045。（适用于 1990 年 5 月之前制造的 HS-16 泵）这是替换加热器元件 NO 引线，480 V，2700 W . （各 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵。 （对于 1990 年 5 月之前制造的 HS-16 泵）有关加热器元件的位置，请参见下面的项目 #11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）

Agilent Varian HS-10 扩散泵，加热器元件 NO 引线，480 Vac，2700 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647310230 这是替换加热器元件 NO 引线，480 V，2700 W。（各 1 个）适合 Agilent Varian HS-10扩散泵。

Agilent Varian HS-16 扩散泵，带引线加热元件，200 Vac、415 Vac、2700 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647316020 这是带引线的替换加热元件，200 V、415 V、2700 W。（各 1 个）适合安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵。有关加热器元件的位置，请参见下面的项目#11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）

Agilent Varian HS-16 扩散泵，带引线加热元件，200 Vac、415 Vac、3200 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647316023 这是带引线的替换加热元件，200 V、415 V、3200 W。（各 1 个）适合安捷伦瓦里安 HS-16 扩散泵。有关加热器元件的位置，请参见下面的项目#11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）

Agilent Varian HS-16 扩散泵，带引线加热元件，480 Vac，2700 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647316030 这是带引线的替换加热元件，480V，2700 W。（各 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵泵。有关加热器元件的位置，请参见下面的项目#11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）

Agilent Varian HS-16 扩散泵，带引线加热元件，480 Vac，3200 瓦 Agilent Varian 部件号 PN 647316033 这是带引线的替换加热元件，480V，3200 W。（各 1 个）适合 Agilent Varian HS-16 扩散泵泵。有关加热器元件的位置，请参见下面的项目#11（分解图和零件图）。 （每个泵需要 3 个）