Inficon Inc. 6Mhz 金晶传感器,洁净室分配器,10/包。
Inficon Inc.零件编号 008-010-G10。 INFICON 6 MHz 晶体与所有 INFICON 控制器和监视器配合使用。6 MHz 晶体有金、银或合金电极可供选择,并根据您的需求提供各种封装。
INFICON 洁净室石英晶体封装可方便地将晶体直接从封装分配到传感器,从而最大限度地减少操作员操作和污染风险。为了使晶体封装更适合洁净室,我们取消了纸张和泡沫插入物,并使封装可堆叠以便于存储。
特征- 频率: 6 MHz
- 直径:14 毫米(0.550 英寸)
- 前全垫
- 双锚背电极图案
- 金 - 推荐用于一般用途,适用于高热负荷工艺、低膜应力沉积,例如金、铝、银
- 银 - 推荐用于高热负荷、高应力薄膜工艺,例如 SiO2、Si3N4、W、Ta、Cr、Ni、AlN、TiN、ZnO、GaN、Mo、DLC
- 合金 - 用于优化光学/介电涂层,例如 MgF2、SiO、TiO、HfO2 和其他高应力应用
注意:这些薄膜的具体应力特性可能因沉积方法(例如溅射、化学气相沉积或原子层沉积)和加工条件而异。控制和了解薄膜应力对于确保包含这些材料的设备的可靠性和性能至关重要。