MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani™ 绝对压电传感器，KF16，RS485，PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute 压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计，尺寸为 NW16 ISO- KF 法兰接头。与传统热导率计相比，组合输出可提供显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 910 结合了两种压力测量技术，提供卓越的性能和功能。 910 提供 11 至 1500 Torr 范围内的独立于气体的绝对压力测量，其精度比热导率传感器更高。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani 中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术，910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准 Pirani 传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以以任何方向安装，而不会影响精度。 Piezo 是一款绝对压力传感器，可提供直接压力读数，从而实现独立于气体的测量。压电传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 910 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。 910 具有三个可用于过程控制的机械继电器，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电测量或组合的绝对 MicroPirani/压电测量。 910 紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力，并且可以实现更紧凑的真空系统。

MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器，KF16，RS232，PN 910-11 HPS® 系列 910 是一款双传感器传感器，将 Pirani 和 Piezo 的压力测量技术与集成电子控制电路相结合。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动调零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 910 系列数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。 910 包括 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。 910 系列在公 15 针高密度 D-sub 连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，910 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 910 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 910 DualTrans。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是注册商标 MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器 PN 910-11ISO-KF NW 16、RS-232、PN 910-11, 2009 价格 $635ISO-KF NW 16, RS-485, PN 910-12, 2009 价格 $6354 VCR-F, RS-232, PN 910-41, 2009 价格 $6654 VCR-F, RS-485, PN 910-42, 2009 价格 $6658 VCR-F, RS-232, PN 910-51, 2009 价格 $6708 VCR-F, RS-485, PN 910-52, 2009 价格 $670 所有价格如有变更，恕不另行通知。

适用于 900 系列传感器的 MKS PDR900 真空计控制器 MKS PDR900 电源和读数装置是一款独立的单通道控制器，可与 900 系列数字真空传感器一起使用。该仪器为真空计控制器设定了新标准，可用作独立电源读出单元，或用作 OEM 应用中系统集成传感器的配置、校准和诊断工具。 PDR900 控制器是真空测量、数字传感器配置和高级系统诊断的理想解决方案。该控制器具有易于使用的菜单驱动用户界面，可指导用户设置和配置远程传感器参数。读出单元与传感器进行数字通信，消除了通过传感器电缆的模拟测量噪声耦合。该装置自动检测 900 系列传感器类型，并可与 RS232 和 RS485 传感器一起使用（与 909/909A 或 903 模拟传感器不兼容）。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

适用于 MKS 910 和 925 MicroPirani 传感器的理想真空交流电源适配器，将 120 VAC 转换为 12 VDC，15 针连接，6 英尺 (1.8 m) 电缆长度。这些理想真空交流通用电源壁式变压器适用于 MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® 模块化真空压力传感器或带内置显示屏的 MKS Granville-Phillips 900 系列传感器。这些电缆将 50-60 Hz、120-240 VAC 转换为 12 VDC，并通过 15 针连接进行连接。电缆长度为 6 英尺 (1.8 m)。