MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制,范围为 0.4 至 20 sccm,15 针 D 型微型,4 VCR 公头。
MKS 零件编号:GM50A013201RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器可配置为控制 N2 或等效物,其满量程流量范围为 20 sccm,控制范围为 0.4 至 20 sccm。它具有一个带接地线的 15 针 D 型超小型模拟连接器、一个 0-5 VDC 流量输入/输出信号和一个 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出接头。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能,只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
Swagelok, VCR-TM 世伟洛克公司